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1. (WO2018146916) THIN FILM STRAIN SENSOR AND TORQUE SENSOR USING SAME
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Pub. No.: WO/2018/146916 International Application No.: PCT/JP2017/042905
Publication Date: 16.08.2018 International Filing Date: 29.11.2017
IPC:
G01L 1/22 (2006.01) ,G01L 3/14 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
1
Measuring force or stress, in general
20
by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
22
using resistance strain gauges
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
L
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
3
Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
02
Rotary-transmission dynamometers
14
wherein the torque-transmitting element is other than a torsionally-flexible shaft
Applicants:
日本電産コパル電子株式会社 NIDEC COPAL ELECTRONICS CORPORATION [JP/JP]; 東京都新宿区西新宿7丁目5番25号 7-5-25, Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 1600023, JP
Inventors:
池田 隆男 IKEDA, Takao; JP
鈴木 隆史 SUZUKI, Takashi; JP
金井 孝 KANAI, Takashi; JP
遠藤 嵩幸 ENDO, Takayuki; JP
熊 四輩 SHUN, Subei; JP
Agent:
特許業務法人スズエ国際特許事務所 S & S INTERNATIONAL PPC; 東京都港区虎ノ門一丁目12番9号 スズエ・アンド・スズエビル SUZUYE & SUZUYE BLDG., 1-12-9, Toranomon, Minato-ku, Tokyo 1050001, JP
Priority Data:
2017-02388413.02.2017JP
Title (EN) THIN FILM STRAIN SENSOR AND TORQUE SENSOR USING SAME
(FR) CAPTEUR DE CONTRAINTE À FILM MINCE ET CAPTEUR DE COUPLE UTILISANT CELUI-CI
(JA) 薄膜歪センサとそれを用いたトルクセンサ
Abstract:
(EN) Provided are: a thin film strain sensor whereby a sufficient bonding strength can be obtained in a thin film electrode, and a connection failure and disconnection can be eliminated; and a torque sensor using the thin film strain sensor. The thin film strain sensor is provided with an elastic body 12, resistors 13a, 13b, and electrodes 15a, 15b, 15c. The elastic body 12 has: first connection sections 12a, 12b connected to a first body to be measured; second connection sections 12c, 12d connected to a second body to be measured; and a transmission section 12e between the first connection sections 12a, 12b and the second connection sections 12c, 12d. The resistors 13a, 13b are provided on the surface of the transmission section 12e of the elastic body 12, and electrically detects the strain of the transmission section 12e. The electrodes 15a, 15b, 15c are provided on the elastic body region excluding the first connection sections, the second connection sections, and the transmission section, and are electrically connected to the resistors.
(FR) La présente invention concerne : un capteur de contrainte à film mince permettant d’obtenir une cohésion suffisante dans une électrode à film mince, et un défaut de connexion et une déconnexion peuvent être éliminés ; et un capteur de couple utilisant le capteur de contrainte à film mince. Le capteur de contrainte à film mince est pourvu d’un corps élastique 12, de résistances 13a, 13b et d’électrodes 15a, 15b, 15c. Le corps élastique 12 comporte : des premières sections de connexion 12a, 12b reliées à un premier corps à mesurer ; des deuxièmes sections de connexion 12c, 12d reliée à un second corps à mesurer ; et une section de transmission 12e entre les premières sections de connexion 12a, 12b et les deuxièmes sections de connexion 12c, 12d. Les résistances 13a, 13b sont disposées sur la surface de la section de transmission 12e du corps élastique 12, et détectent électriquement la contrainte de la section de transmission 12e. Les électrodes 15a, 15b, 15c sont disposées sur la région de corps élastique excluant les premières sections de connexion, les deuxièmes sections de connexion, et la section de transmission, et sont électriquement connectées aux résistances.
(JA) 薄膜電極において十分な接合強度を得ることができ、接続不良や断線を防止することが可能な薄膜歪センサとそれを用いたトルクセンサを提供する。薄膜歪センサは、弾性体12、抵抗13a、13b、電極15a、15b、15cを具備している。弾性体12は、第1被計測体に連結される第1連結部12a、12bと、第2被計測体に連結される第2連結部12c、12d、及び第1連結部12a、12bと第2連結部12c、12dとの間の伝達部12eとを有する。抵抗13a、13bは、弾性体12の伝達部12eの表面に設けられ、伝達部12eの歪みを電気的に検出する。電極15a、15b、15cは、第1連結部と第2連結部及び伝達部以外の弾性体の領域上に設けられ、抵抗に電気的に接続される。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)