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1. (WO2018144947) MULTI-COLUMN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY SYSTEM
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Pub. No.: WO/2018/144947 International Application No.: PCT/US2018/016742
Publication Date: 09.08.2018 International Filing Date: 02.02.2018
IPC:
H01J 37/28 (2006.01) ,H01J 37/08 (2006.01)
[IPC code unknown for H01J 37/28][IPC code unknown for H01J 37/08]
Applicants:
KLA-TENCOR CORPORATION [US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventors:
HAYNES, Robert; US
WELK, Aron; US
NASSER-GHODSI, Mehran; US
GERLING, John; US
PLETTNER, Tomas; US
Agent:
MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N; US
Priority Data:
15/612,86202.06.2017US
62/454,71503.02.2017US
62/455,95507.02.2017US
Title (EN) MULTI-COLUMN SCANNING ELECTRON MICROSCOPY SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE À COLONNES MULTIPLES
Abstract:
(EN) A multi-column scanning electron microscopy (SEM) system includes a column assembly, where the column assembly includes a first substrate array assembly and at least a second substrate array assembly. The system also includes a source assembly, the source assembly including two or more illumination sources configured to generate two or more electron beams and two or more sets of a plurality of positioners configured to adjust a position of a particular illumination source of the two or more illumination sources in a plurality of directions. The system also includes a stage configured to secure a sample, where the column assembly directs at least a portion of the two or more electron beams onto a portion of the sample.
(FR) L'invention concerne un système de microscopie électronique à balayage (MEB) à colonnes multiples comprenant un ensemble de colonnes, l'ensemble de colonnes comprenant un premier ensemble formant un réseau de substrats et au moins un second ensemble formant un réseau de substrats. Le système comprend également un ensemble source, l'ensemble source comprenant au moins deux sources d'éclairage conçues afin de générer au moins deux faisceaux d'électrons et au moins deux ensembles d'une pluralité de positionneurs conçus afin de régler une position d'une source particulière d'éclairage parmi lesdites deux sources d'éclairage dans une pluralité de directions. Le système comprend également un étage conçu pour fixer un échantillon, l'ensemble de colonnes dirigeant au moins une partie des au moins deux faisceaux d'électrons sur une partie de l'échantillon.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)