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1. (WO2018143795) PLANAR POSITIONING DEVICE
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Pub. No.: WO/2018/143795 International Application No.: PCT/NL2018/050058
Publication Date: 09.08.2018 International Filing Date: 29.01.2018
IPC:
H02K 41/03 (2006.01)
[IPC code unknown for H02K 41/03]
Applicants:
C.C.M. Beheer B.V. [NL/NL]; 24 , De Pinckart 5674 CC Nuenen, NL
Inventors:
BELTMAN, Arend-Jan Johan; NL
Agent:
HOUBEN, C.H.W.F.; EP&C P.O. Box 3241 2280 GE Rijswijk, NL
Priority Data:
201826631.01.2017NL
Title (EN) PLANAR POSITIONING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT PLAN
Abstract:
(EN) A planar positioning device having three degrees of freedom (X, Y, Rz) comprises a static base having a flat bearing surface and a moveable stage. The stage is moveable over the bearing surface in an XY-plane. The moveable stage includes air bearings and is supported without contact by the bearing surface via said air bearings. The device comprises a linear motor acting in the X-direction and a linear motor acting in the Y-direction, and at least one additional linear motor acting in the X-direction or in the Y-direction. Each of the linear motors includes a magnet assembly arranged on the moveable stage and a coil assembly arranged on the base. The base includes a slider track extending in the X-direction and a slider track extending in the Y-direction. The coil assembly of the linear motor(s) acting in the X-direction is arranged on a slider which is moveable along the slider track extending in the Y-direction and is coupled to the stage in the Y-direction. The coil assembly of the linear motor(s) acting in the Y-direction is arranged on a slider which is moveable along the slider track extending in the X-direction and is coupled to the stage in the X-direction. The sliders each have a reluctance actuator arranged on it, which reluctance actuator is configured and arranged to cooperate with (ferro)magnetic material on the moveable stage such that the slider follows the movement of the stage.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de positionnement plan ayant trois degrés de liberté (X, Y, Rz) comprenant une base statique ayant une surface de support plate et un plateau mobile. Le plateau est mobile sur la surface de support dans un plan XY. Le plateau mobile comprend des paliers à air et est supporté sans contact par la surface de support par l'intermédiaire desdits paliers à air. Le dispositif comprend un moteur linéaire agissant dans la direction X et un moteur linéaire agissant dans la direction Y, et au moins un moteur linéaire supplémentaire agissant dans la direction X ou dans la direction Y. Chacun des moteurs linéaires comprend un ensemble aimant disposé sur le plateau mobile et un ensemble bobine disposé sur la base. La base comprend une piste de curseur s'étendant dans la direction X et une piste de curseur s'étendant dans la direction Y. L'ensemble bobine du ou des moteur(s) linéaire(s) agissant dans la direction X est disposé sur un coulisseau qui est mobile le long de la glissière s'étendant dans la direction Y et est couplé au plateau dans la direction Y. L'ensemble bobine du ou des moteur(s) linéaire(s) agissant dans la direction Y est disposé sur un coulisseau qui est mobile le long de la glissière s'étendant dans la direction X et est couplé au plateau dans la direction X. Les curseurs ont chacun un actionneur à réluctance disposé dessus, lequel actionneur à réluctance est conçu et disposé pour coopérer avec le matériau (ferro)magnétique sur le plateau mobile de telle sorte que le curseur suive le mouvement du plateau.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)