(EN) A measurement device 100 has a MEMS mirror 4 for radiating projection light L1 while changing the radiating direction thereof, a light-receiving part 3 for receiving return light L2 reflected by a measurement object 10 included on a surface scanned by the projection light L1 radiated by the MEMS mirror 4, and an optical member 5 for reflecting the projection light L1 and the return light L2. Here, the optical member 5 reflects the projection light L1 radiated by the MEMS mirror 4 in a second period so that a region (first region) of the measurement object 10 irradiated by the projection light L1 in a first period within a first cycle and a region (second region) of the measurement object 10 irradiated by the projection light L1 radiated by the MEMS mirror 4 in a second period at least partially overlap.
(FR) L'invention concerne un dispositif de mesure (100) possédant un miroir MEMS (4) permettant d'émettre le rayonnement d'une lumière de projection (L1) tout en changeant la direction de rayonnement de cette dernière, une partie réception de lumière (3) permettant de recevoir une lumière de retour (L2) réfléchie par un objet de mesure (10) inclus sur une surface balayée par la lumière de projection (L1) dont le rayonnement est émis par le miroir MEMS (4) et un élément optique (5) permettant de réfléchir la lumière de projection (L1) et la lumière de retour (L2). Ici, l'élément optique (5) réfléchit la lumière de projection (L1) dont le rayonnement est émis par le miroir MEMS (4) dans une seconde période de sorte qu'une zone (première zone) de l'objet de mesure (10) exposée à la lumière de projection (L1) dans une première période à l'intérieur d'un premier cycle et qu'une zone (seconde zone) de l'objet de mesure (10) exposée à la lumière de projection (L1) dont le rayonnement est émis par le miroir MEMS (4) dans une seconde période se chevauchent au moins partiellement.
(JA) 計測装置１００は、照射方向を変えながら投射光Ｌ１を照射するＭＥＭＳミラー４と、ＭＥＭＳミラー４によって照射された投射光Ｌ１による走査面に含まれる計測対象物１０によって反射された戻り光Ｌ２を受光する受光部３と、投射光Ｌ１及び戻り光Ｌ２を反射する光学部材５とを有する。ここで、光学部材５は、１周期内における第１期間に投射光Ｌ１が照射される計測対象物１０の領域（第１領域）と、第２期間にＭＥＭＳミラー４によって照射された投射光Ｌ１が照射される計測対象物１０の領域（第２領域）との少なくとも一部が重なるように、第２期間にＭＥＭＳミラー４によって照射された投射光Ｌ１を反射する。
