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1. (WO2018141515) MICROMECHANICAL MODULE AND METHOD FOR DETECTING OSCILLATIONS, IN PARTICULAR STRUCTURE-BORNE SOUND
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Pub. No.: WO/2018/141515 International Application No.: PCT/EP2018/050534
Publication Date: 09.08.2018 International Filing Date: 10.01.2018
IPC:
B81B 7/02 (2006.01)
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
B
MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES
7
Micro-structural systems
02
containing distinct electrical or optical devices of particular relevance for their function, e.g. micro-electro-mechanical systems (MEMS)
Applicants:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventors:
BRUENDEL, Mathias; DE
Priority Data:
10 2017 201 481.431.01.2017DE
Title (EN) MICROMECHANICAL MODULE AND METHOD FOR DETECTING OSCILLATIONS, IN PARTICULAR STRUCTURE-BORNE SOUND
(FR) MODULE MICROMÉCANIQUE ET PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE VIBRATIONS, EN PARTICULIER DE BRUIT SOLIDIEN
(DE) MIKROMECHANISCHE MODUL UND VERFAHREN ZUM ERFASSEN VON SCHWINGUNGEN, INSBESONDERE KÖRPERSCHALL
Abstract:
(EN) A micromechanical module (100) for applying to a body (60) for detecting oscillations in the body (60), comprising a housing (50) having a cavity (51), wherein the cavity (51) constitutes an acoustically active volume, a substrate (40), a microphone (10), which is acoustically coupled to the cavity (51) and is configured to detect transverse waves of the oscillations, and a MEMS acceleration sensor (20), wherein the MEMS acceleration sensor (20) is configured to detect longitudinal waves of the oscillations along at least one measurement axis (21) parallel to a surface (64) of the body (60), and wherein the substrate (50) electrically and mechanically connects the microphone (10) and the MEMS acceleration sensor (20) to one another and has a common interface (43) for output.
(FR) L'invention concerne un module micromécanique (100) destiné à être appliqué sur un corps (60) pour détecter des vibrations dans le corps (60), comprenant un boîtier (50) pourvu d'une cavité (51), la cavité (51) constituant un volume à effet acoustique, un substrat (40), un microphone (10) couplé acoustiquement à la cavité (51) et conçu pour détecter des ondes transversales des vibrations, et un accéléromètre MEMS (20), l’accéléromètre MEMS (20) étant conçu pour détecter des ondes longitudinales des vibrations le long d'au moins un axe de mesure (21) parallèlement à une surface (64) du corps (60), le substrat (50) reliant électriquement et mécaniquement le microphone (10) et l’accéléromètre MEMS (20) et présentant une interface commune (43) pour la sortie.
(DE) Mikromechanisches Modul (100) zum Anlegen an einen Körper (60) zum Erfassenvon Schwingungen in dem Körper(60), umfassend ein Gehäuse(50)mit einer Kavität (51), wobei die Kavität (51) ein akustisch wirksames Volumen darstellt, einem Substrat(40), einem Mikrofon(10), das akustisch an die Kavität (51)gekoppelt istund dazu eingerichtet ist Transversalwellen der Schwingungen zu erfassen, und einem MEMS- Beschleunigungssensor(20), wobei der MEMS-Beschleunigungssensor(20)dazu eingerichtet ist Longitudinalwellen der Schwingungen entlang mindestens einer Messachse(21)parallel zu einer Oberfläche(64)des Körpers(60)zuerfassen, und wobei das Substrat(50)das Mikrofon(10)und den MEMS-Beschleunigungssensor(20) elektrisch und mechanisch miteinander verbindetund eine gemeinsame Schnittstelle (43) zur Ausgabe aufweist.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)