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1. (WO2018140120) ION MASS SEPARATION USING RF EXTRACTION
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Pub. No.: WO/2018/140120 International Application No.: PCT/US2017/061918
Publication Date: 02.08.2018 International Filing Date: 16.11.2017
IPC:
H01L 21/67 (2006.01) ,H01J 37/317 (2006.01) ,H01L 21/265 (2006.01)
Applicants: VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.[US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930, US
Inventors: LIKHANSKII, Alexandre; US
Agent: FRAME, Robert C.; US
LEMACK, Kevin S.; US
Priority Data:
15/417,76727.01.2017US
Title (EN) ION MASS SEPARATION USING RF EXTRACTION
(FR) SÉPARATION DE MASSE IONIQUE À L'AIDE D'UNE EXTRACTION RF
Abstract: front page image
(EN) An apparatus which has the capability of filtering unwanted species from an extracted ion beam without the use of a mass analyzer magnet is disclosed. The apparatus includes an ion source having chamber walls that are biased by an RF voltage. The use of RF extraction causes ions to exit the ion source at different energies, where the energy of each ion species is related to its mass. The extracted ion beam can then be filtered using only electrostatic energy filters to eliminate the unwanted species. The electrostatic energy filter may act as a high pass filter, allowing ions having an energy above a certain threshold to reach the workpiece. Alternatively, the electrostatic energy filter may act as a low pass filter, allowing ions having an energy below a certain threshold to reach the workpiece. In another embodiment, the electrostatic energy filter operates as a bandpass filter.
(FR) L'invention concerne un appareil qui a la capacité de filtrer des espèces indésirables à partir d'un faisceau d'ions extrait sans utiliser d'aimant d'analyseur de masse. L'appareil comprend une source d'ions ayant des parois de chambre qui sont polarisées par une tension RF. L'utilisation d'une extraction RF amène les ions à sortir de la source d'ions à des énergies différentes, l'énergie de chaque espèce d'ions étant associée à sa masse. Le faisceau d'ions extrait peut ensuite être filtré à l'aide uniquement de filtres d'énergie électrostatique pour éliminer les espèces indésirables. Le filtre d'énergie électrostatique peut agir comme un filtre passe-haut, permettant aux ions ayant une énergie au-dessus d'un certain seuil d'atteindre la pièce à usiner. En variante, le filtre d'énergie électrostatique peut agir comme un filtre passe-bas, ce qui permet aux ions ayant une énergie inférieure à un certain seuil d'atteindre la pièce à usiner. Dans un autre mode de réalisation, le filtre d'énergie électrostatique fonctionne comme un filtre passe-bande.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)