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1. (WO2018138875) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
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Pub. No.: WO/2018/138875 International Application No.: PCT/JP2017/002968
Publication Date: 02.08.2018 International Filing Date: 27.01.2017
IPC:
H01J 37/22 (2006.01) ,H01J 37/21 (2006.01) ,H01J 37/244 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
22
Optical or photographic arrangements associated with the tube
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
21
Means for adjusting the focus
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
J
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37
Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02
Details
244
Detectors; Associated components or circuits therefor
Applicants:
株式会社 日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventors:
渡邉 亮太 WATANABE Ryota; JP
岩淵 裕子 IWABUCHI Yuko; JP
淺尾 一成 ASAO Kazunari; JP
鈴木 誠 SUZUKI Makoto; JP
森 渉 MORI Wataru; JP
山崎 実 YAMAZAKI Minoru; JP
Agent:
戸田 裕二 TODA Yuji; JP
Priority Data:
Title (EN) CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 荷電粒子線装置
Abstract:
(EN) The purpose of the present invention is to provide a charged particle beam device which adjusts brightness and contrast or adjusts focus and the like appropriately in a short time even if there are few detected signals. Proposed as an aspect for achieving this purpose is a charged particle beam device provided with: a detector for detecting charged particles obtained on the basis of irradiation of a specimen with a charged particle beam emitted from a charged particle source; and a control unit for processing a signal obtained on the basis of the output of the detector, wherein the control unit performs statistical processing on gray level values in a predetermined region of an image generated on the basis of the output of the detector, and executes signal processing for correcting a difference between a statistical value obtained by the statistical processing and reference data relating to the gray level values of the image.
(FR) L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif à faisceau de particules chargées qui règle la luminosité et le contraste ou règle la mise au point et autre de manière appropriée en un court laps de temps même s'il y a peu de signaux détectés. Un aspect pour atteindre cet objectif est un dispositif à faisceau de particules chargées comportant : un détecteur destiné à détecter des particules chargées obtenues sur la base d'une irradiation d'un échantillon à l'aide d'un faisceau de particules chargées émis à partir d'une source de particules chargées ; et une unité de commande destinée à traiter un signal obtenu sur la base de la sortie du détecteur, l'unité de commande effectuant un traitement statistique sur des valeurs de niveau de gris dans une zone prédéterminée d'une image générée sur la base de la sortie du détecteur et exécutant un traitement de signal pour corriger une différence entre une valeur statistique obtenue par le traitement statistique et des données de référence concernant les valeurs de niveau de gris de l'image.
(JA) 本発明は、検出信号が少ない場合であっても、短時間で適正にブライトネスや、コントラストの調整、或いはフォーカス調整等を行う荷電粒子線装置の提供を目的とする。この目的を達成するための一態様として、荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームの試料への照射に基づいて得られる荷電粒子を検出する検出器と、当該検出器の出力に基づいて得られる信号を処理する制御装置を備えた荷電粒子線装置であって、前記制御装置は、前記検出器の出力に基づいて生成される画像の所定領域の階調値の統計処理を行い、当該統計処理によって得られる統計値と、画像の階調値に関する参照データとの違いを補正する信号処理を実行する荷電粒子線装置を提案する。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)