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1. (WO2018132977) L-TYPE ELECTROSTATIC-POWERED MICRO ROBOT, AND MANUFACTURING METHOD AND CONTROL METHOD THEREOF
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Pub. No.: WO/2018/132977 International Application No.: PCT/CN2017/071560
Publication Date: 26.07.2018 International Filing Date: 18.01.2017
IPC:
B81C 1/00 (2006.01) ,B81B 3/00 (2006.01)
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
C
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
1
Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
B
MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES
3
Devices comprising flexible or deformable elements, e.g. comprising elastic tongues or membranes
Applicants: SHENZHEN INSTITUTES OF ADVANCED TECHNOLOGY CHINESE ACADEMY OF SCIENCES[CN/CN]; No.1068 Xueyuan Avenue Xili University Town, Nanshan District Shenzhen, Guangdong 518055, CN
Inventors: LI, Hui; CN
CHEN, Jing; CN
ZHANG, Nannan; CN
WANG, Lei; CN
Agent: SHENZHEN ZHONGYI PATENT AND TRADEMARK OFFICE; 4th Fl. (PO Box No.5) Old Shenzhen Special Zone Newspaper Building No. 1014 Shennan Middle Road, Futian District Shenzhen, Guangdong 518028, CN
Priority Data:
Title (EN) L-TYPE ELECTROSTATIC-POWERED MICRO ROBOT, AND MANUFACTURING METHOD AND CONTROL METHOD THEREOF
(FR) MICRO-ROBOT À ALIMENTATION ÉLECTROSTATIQUE DE TYPE L, ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION ET SON PROCÉDÉ DE COMMANDE
(ZH) L 型静电驱动微型机器人及其制造方法、控制方法
Abstract:
(EN) An L-type electrostatic-powered micro robot, and a manufacturing method and control method thereof. The manufacturing method comprises the following steps: step S10: manufacturing a sacrificial layer (10); step S20: manufacturing and processing a first photoresist layer (20); step S30: manufacturing and processing a second photoresist layer (40); step S40: exposing the first photoresist layer (20) and second photoresist layer (40) for development, and removing the unexposed areas of the first photoresist layer (20) and of the second photoresist layer (40) to form an L-shaped structure (100); step S50: sputtering and depositing a conductive metal layer (60) on a surface of the L-shaped structure (100) distal from the sacrificial layer (10), and removing the sacrificial layer (10). A manufactured micro robot can address the issue of a micro robot in the prior art being unable to fulfill the requirements of miniaturization, high power, high frequency response, convenient and easy energy supply, low energy consumption, and precise control.
(FR) L'invention concerne un micro-robot à alimentation électrostatique de type L, et son procédé de fabrication et son procédé de commande. Le procédé de fabrication comprend les étapes suivantes : étape S10 : fabrication d'une couche sacrificielle (10) ; étape S20 : fabrication et traitement d'une première couche de résine photosensible (20) ; étape S30 : fabrication et traitement d'une seconde couche de résine photosensible (40); étape S40 : exposition de la première couche de résine photosensible (20) et de la seconde couche de résine photosensible (40) pour le développement, et élimination des zones non exposées de la première couche de résine photosensible (20) et de la seconde couche de résine photosensible (40) pour former une structure en forme de L (100); étape S50 : pulvérisation et dépôt d'une couche métallique conductrice (60) sur une surface de la structure en forme de L (100) distale de la couche sacrificielle (10), et élimination de la couche sacrificielle (10). Un micro-robot fabriqué peut résoudre le problème d'un micro-robot dans l'état de la technique incapable de remplir les exigences de miniaturisation, de puissance élevée, de réponse haute fréquence, d'alimentation en énergie pratique et facile, de faible consommation d'énergie et de commande précise.
(ZH) L型静电驱动微型机器人及其制造方法、控制方法,并且该制造方法包括以下步骤:步骤S10:制备牺牲层(10);步骤S20:制造处理第一光刻胶层(20);步骤S30:制造处理第二光刻胶层(40);步骤S40:对第一光刻胶层(20)、第二光刻胶层(40)的曝光区域进行显影,并除去第一光刻胶层(20)和第二光刻胶层(40)的未曝光区域,形成L型结构(100);步骤S50:对远离牺牲层(10)的L型结构(100)的表面溅射沉积导电金属层(60),并除去牺牲层(10)。所制造的微型机器人解决了现有技术中微型机器人无法同时满足微型化、驱动力大、频率响应高、供能方便简单、耗能小、且控制精确的要求的问题。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)