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1. (WO2018130374) METHOD FOR PRODUCING A SUBSTRATE WITH A REGION MECHANICALLY DECOUPLED FROM A CARRIER, METHOD FOR PRODUCING AT LEAST ONE SPRING AND A SUBSTRATE
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Pub. No.: WO/2018/130374 International Application No.: PCT/EP2017/083113
Publication Date: 19.07.2018 International Filing Date: 15.12.2017
IPC:
B81B 7/00 (2006.01)
B PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
81
MICRO-STRUCTURAL TECHNOLOGY
B
MICRO-STRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICRO-MECHANICAL DEVICES
7
Micro-structural systems
Applicants:
ROBERT BOSCH GMBH [DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventors:
FRIEDRICH, Thomas; DE
DANNENBERG, Arne; DE
SCHWARZ, Mike; DE
Priority Data:
10 2017 200 587.416.01.2017DE
Title (EN) METHOD FOR PRODUCING A SUBSTRATE WITH A REGION MECHANICALLY DECOUPLED FROM A CARRIER, METHOD FOR PRODUCING AT LEAST ONE SPRING AND A SUBSTRATE
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT COMPRENANT UNE ZONE DÉCOUPLÉE MÉCANIQUEMENT D'UN SUPPORT, PROCÉDÉ DE FABRICATION D'AU MOINS UN RESSORT ET D'UN SUBSTRAT
(DE) VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES SUBSTRATES MIT EINEM VON EINEM TRÄGER MECHANISCH ENTKOPPELTEN BEREICH, VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON MINDESTENS EINER FEDER UND EINES SUBSTRATES
Abstract:
(EN) A method is disclosed for producing a substrate with a region mechanically decoupled from a carrier, provided with at least one component arranged on the region, wherein at least one recess is introduced on a front side of the substrate, an etching pattern is provided on a rear side of the substrate and is anisotropically etched in such a way that vertical channels are created on the rear side of the substrate and subsequently a cavity is introduced on the rear side of the substrate, wherein the at least one recess on the front side of the substrate is connected to the cavity on the rear side of the substrate and at least two recesses or at least two portions of a recess in at least one region between the front side of the substrate and the cavity are connected to one another by at least one hollowed clearance.
(FR) L'invention concerne un procédé de fabrication d'un substrat comprenant une zone découplée mécaniquement d'un support et présentant au moins un élément agencé sur la zone. Au moins un creux est ménagé sur une face avant du substrat, un motif gravé est préparé sur une face arrière du substrat et subit une gravure anisotrope de telle manière que des canaux verticaux sont générés sur la face arrière du substrat et qu'une cavité est ensuite ménagée sur la face arrière du substrat. Le creux ou les creux sont reliés sur la face avant du substrat à la cavité sur la face arrière du substrat et au moins deux creux ou au moins deux parties d'un creux, dans au moins une zone située entre la face avant du substrat et la cavité, sont relié(e)s l'un(e) à l'autre par au moins un évidement.
(DE) Offenbart wird ein Verfahren zum Herstellen eines Substrates mit einem von einem Träger mechanisch entkoppelten Bereich mit mindestens einem auf dem Bereich angeordneten Bauteil bereitgestellt, wobei mindestens eine Ausnehmung auf einer Vorderseite des Substrates eingebracht werden, ein Ätzmuster auf einer Rückseite des Substrates vorbereitet und derart anisotrop geätzt wird, dass vertikale Kanäle auf der Rückseite des Substrates erzeugt werden und anschließend ein Hohlraum an der Rückseite des Substrates eingebracht wird, wobei die mindestens eine Ausnehmung auf der Vorderseite des Substrates mit dem Hohlraum auf der Rückseite des Substrates verbunden wird und mindestens zwei Ausnehmungen oder mindestens zwei Abschnitte einer Ausnehmung in mindestens einem Bereich zwischen der Vorderseite des Substrates und dem Hohlraum durch mindestens eine Aushöhlung miteinander verbunden werden.
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Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)