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1. (WO2018127309) METHOD AND ASSEMBLY FOR DETERMINING THE THICKNESS OF LAYERS IN A SAMPLE STACK
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Pub. No.: WO/2018/127309 International Application No.: PCT/EP2017/077163
Publication Date: 12.07.2018 International Filing Date: 24.10.2017
IPC:
G01B 11/06 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
B
MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
11
Measuring arrangements characterised by the use of optical means
02
for measuring length, width, or thickness
06
for measuring thickness
Applicants:
UNITY SEMICONDUCTOR GMBH [DE/DE]; Manfred-von Ardenne-Ring 4 01099 Dresden, DE
Inventors:
SROCKA, Bernd; DE
FLON, Stanislas; DE
Agent:
WEISSE, Renate; DE
Priority Data:
17150599.309.01.2017EP
Title (EN) METHOD AND ASSEMBLY FOR DETERMINING THE THICKNESS OF LAYERS IN A SAMPLE STACK
(FR) PROCÉDÉ ET ENSEMBLE PERMETTANT DE DÉTERMINER L'ÉPAISSEUR DE COUCHES DANS UN EMPILEMENT D'ÉCHANTILLONS
Abstract:
(EN) A method and an inspection assembly for determining the thickness of one or more layers of a sample stack of layers or other properties influencing the intensity of light reflected by the sample stack with an assembly comprising a light source for illuminating the sample stack of layers and a camera with a detector for detecting the intensity of light reflected by the sample stack of layers in defined wavelength ranges, the method comprising the steps of illuminating the sample stack of layers with light from the light source; detecting the intensity of light reflected by the sample stack of layers with the detector in different wavelength ranges; and determining the thickness or other property from the intensity detected by the detector; are characterized in that the detector is an array detector with a plurality of detector elements in lines and columns; an image of the sample stack of layers is generated on the detector; the detector comprises a plurality of sections in the form of parallel stripes, the stripes detecting the light reflected by the sample stack of layers simultaneously; light of one selected wavelength range only is detected by each of the plurality of sections of the detector; and a movement of the image of the sample stack of layers on the detector or of the parallel stripes is generated in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the parallel stripes such that each point of the inspected sample stack of layers is detected at least once in each of the different wavelength ranges.
(FR) L'invention concerne un procédé et un ensemble d'inspection permettant de déterminer l'épaisseur d'une ou de plusieurs couches d'un empilement d'échantillons de couches ou d'autres propriétés influençant l'intensité de la lumière réfléchie par l'empilement d'échantillons par un ensemble comprenant une source de lumière permettant d'éclairer l'empilement d'échantillons de couches et une caméra dotée d'un détecteur permettant de détecter l'intensité de la lumière réfléchie par l'empilement d'échantillons de couches dans des plages de longueurs d'onde définies, le procédé comprenant les étapes consistant à éclairer l'empilement d'échantillons de couches par de la lumière provenant de la source de lumière ; à détecter l'intensité de la lumière réfléchie par l'empilement d'échantillons de couches par le détecteur dans différentes plages de longueurs d'onde ; et à déterminer l'épaisseur ou une autre propriété à partir de l'intensité détectée par le détecteur ; ils se caractérisent en ce que le détecteur est un détecteur matriciel comportant une pluralité d'éléments détecteurs en lignes et en colonnes ; une image de l'empilement d'échantillons de couches est obtenue sur le détecteur ; le détecteur comprend une pluralité de sections sous la forme de bandes parallèles, les bandes détectant la lumière réfléchie par l'empilement d'échantillons de couches simultanément ; la lumière d'une plage de longueurs d'onde sélectionnée uniquement est détectée par chacune des sections de la pluralité de sections du détecteur ; et un mouvement de l'image de l'empilement d'échantillons de couches sur le détecteur ou des bandes parallèles se produit dans une direction perpendiculaire à la direction longitudinale des bandes parallèles, de sorte que chaque point de l'empilement d'échantillons inspectés de couches est détecté au moins une fois dans chacune des différentes plages de longueurs d'onde.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)