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1. WO2018121184 - WAFER TEST SYSTEM

Publication Number WO/2018/121184
Publication Date 05.07.2018
International Application No. PCT/CN2017/114373
International Filing Date 04.12.2017
IPC
G01R 31/28 2006.01
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
CPC
G01R 31/2831
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
282Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
2831Testing of materials or semi-finished products, e.g. semiconductor wafers or substrates
Applicants
  • 上海华岭集成电路技术股份有限公司 SINO IC TECHNOLOGY CO., LTD. [CN]/[CN]
Inventors
  • 罗斌 LUO, Bin
  • 张志勇 ZHANG, Zhiyong
  • 祁建华 QI, Jianhua
  • 王锦 WANG, Jin
  • 凌俭波 LING, Jianbo
Agents
  • 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY
Priority Data
201611264465.330.12.2016CN
Publication Language Chinese (ZH)
Filing Language Chinese (ZH)
Designated States
Title
(EN) WAFER TEST SYSTEM
(FR) SYSTÈME DE TEST DE TRANCHES
(ZH) 晶圆测试系统
Abstract
(EN)
A wafer test system, comprising: a test unit (101), a control unit (102), a data storage unit (103), and a display and interaction unit (105). The test unit is used for testing wafers and storing test data in the data storage unit (103); the control unit (102) extracts test data of a specified test wafer from the data storage unit (103) according to an instruction received by the display and interaction unit (105), and controls the display and interaction unit (105) to display specific test data of the specified test wafer by means of a one-dimensional or two-dimensional image (201, 301) in a specified display mode. The wafer test system resolves that problem of being unable to obtain specific test information of a test wafer conveniently by a conventional wafer test system.
(FR)
L'invention concerne un système de test de tranches comprenant : une unité de test (101), une unité de commande (102), une unité de mémorisation de données (103) et une unité d'affichage et d'interaction (105). L'unité de test est utilisée afin de tester des tranches et de mémoriser des données de test dans l'unité de mémorisation de données (103); l'unité de commande (102) extrait des données de test d'une tranche de test spécifiée à partir de l'unité de mémorisation de données (103) conformément à une instruction reçue par l'unité d'affichage et d'interaction (105) et commande à l'unité d'affichage et d'interaction (105) d'afficher des données de test spécifiques de la tranche de test spécifiée au moyen d'une image unidimensionnelle ou bidimensionnelle (201, 301) dans un mode d'affichage spécifié. Le système de test de tranches permet de résoudre le problème d'une incapacité d'un système de test de tranche classique à obtenir de manière aisée des informations de test spécifiques d'une tranche de test.
(ZH)
一种晶圆测试系统,包括测试单元(101)、控制单元(102)、数据存储单元(103)和显示与交互单元(105);测试单元(101)用于对晶圆进行测试,并将测试数据存储于数据存储单元(103);控制单元(102)根据显示与交互单元(105)接收的指令,从数据存储单元(103)中提取指定的测试晶圆的测试数据,并控制显示与交互单元(105)按照指定显示模式通过一二维图像(201,301)显示指定的测试晶圆的具体测试数据。晶圆测试系统解决了传统晶圆测试系统无法方便地获取晶圆测试的具体测试信息的问题。
Also published as
Latest bibliographic data on file with the International Bureau