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1. (WO2018120877) LOW-HEIGHT BIAXIAL DEFLECTION DEVICE HAVING DEFLECTION AXIS INTERSECTING SURFACE OF REFLECTOR, AND METHOD
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Pub. No.: WO/2018/120877 International Application No.: PCT/CN2017/099189
Publication Date: 05.07.2018 International Filing Date: 26.08.2017
IPC:
G02B 7/198 (2006.01)
G PHYSICS
02
OPTICS
B
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
7
Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
18
for prisms; for mirrors
182
for mirrors
198
with means for adjusting the mirror relative to its support
Applicants:
西安交通大学 XI'AN JIAOTONG UNIVERSITY [CN/CN]; 中国陕西省西安市 碑林区咸宁西路28号,徐明龙 XU, Minglong 28 West Xianning Road, Beilin Xi'an, Shaanxi 710049, CN
Inventors:
徐明龙 XU, Minglong; CN
宋思扬 SONG, Siyang; CN
田征 TIAN, Zheng; CN
冯勃 FENG, Bo; CN
邵恕宝 SHAO, Shubao; CN
Agent:
西安智大知识产权代理事务所 XI'AN CYDA INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国陕西省西安市 雁塔区科技路195号世纪颐园A707何会侠 Shijiyiyuan A707 HE, Huixia 195 Keji Road, Yanta Xi'an, Shaanxi 710075, CN
Priority Data:
201611224947.627.12.2016CN
Title (EN) LOW-HEIGHT BIAXIAL DEFLECTION DEVICE HAVING DEFLECTION AXIS INTERSECTING SURFACE OF REFLECTOR, AND METHOD
(FR) DISPOSITIF DE DÉVIATION BIAXIALE DE FAIBLE HAUTEUR AYANT UNE SURFACE D'INTERSECTION D'AXE DE DÉVIATION DE RÉFLECTEUR, ET PROCÉDÉ
(ZH) 偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法
Abstract:
(EN) Provided are a low-height biaxial deflection device having a deflection axis intersecting the surface of a reflector (7), and a method; the deflection device consists mainly of three parts: a base (1) and fixing support base (2-1 to 2-4) used for fixedly mounting; resilient zither-shaped rings (3-1 to 3-4) and a deflection supporting base (5) for providing deflection driving, and a reflector fixture (6), reflector (7), and flexible hinge and connecting platforms (8-1 to 8-4) thereof for constraining the generation of deflection displacement by the reflector fixture (6). Four piezoelectric ceramics (4-1 to 4-4) accomplish output control of the angle of deflection, and have the features of high control accuracy and quick response; the piezoelectric ceramics (4-1 to 4-4) are divided into two sets; a differential manner is used for driving piezoelectric ceramics (4-1 and 4-2, or 4-3 and 4-4) in the same set, that is, a corresponding single-axis deflection displacement may be achieved, and simultaneously driving four piezoelectric ceramics (4-1 to 4-4) enables the biaxial deflection of the reflector (7); the device uses a settled structural form of the reflector (7) and the deflection axis intersects the surface of the reflector (7); thus light-path control error caused by longitudinal displacement of the mirror during deflection is reduced; at the same time, the structure has the features of being low and compact, and the space required for its installation is small.
(FR) L'invention concerne un dispositif de déviation biaxiale de faible hauteur ayant un axe de déviation croisant la surface d'un réflecteur (7), et un procédé; le dispositif de déviation est constitué principalement de trois parties : une base (1) et une base de support de fixation (2-1 to 2-4) utilisées pour le montage fixe; des anneaux élastiques en forme de glissière (3-1 to 3-4) et une base de support de déviation (5) pour fournir une commande de déviation, et un dispositif de fixation de réflecteur (6), un réflecteur (7), et des plateformes de charnière et de connexion flexibles (8-1 to 84) de celui-ci pour limiter la génération de déplacement de déviation par le dispositif de fixation de réflecteur (6). Quatre céramiques piézoélectriques (4-1 700-4) réalisent une commande de sortie de l'angle de déviation, et ont les caractéristiques de haute précision de commande et de réponse rapide; les céramiques piézoélectriques (4-1 to 4-4) sont divisés en deux ensembles; une manière différentielle est utilisée pour entraîner des céramiques piézoélectriques (4-1 and 4-2, or410-3 and 44) dans le même ensemble, c'est-à-dire un déplacement de déviation d'axe unique correspondant peut être obtenu, et entraîner simultanément quatre céramiques piézoélectriques (4-1 to 4-4) permet la déviation biaxiale du réflecteur (7); le dispositif utilise une forme structurale stabilisée du réflecteur (7) et l'axe de déviation coupe la surface du réflecteur (7); l'erreur de commande de trajet de lumière provoquée par le déplacement longitudinal du miroir pendant la déviation est réduite; en même temps, la structure a les caractéristiques d'être faible et compacte, et l'espace requis pour son installation est petit.
(ZH) 一种偏转轴相交于反射镜(7)表面的低高度双轴偏转装置及方法,偏转装置主要由三个部分组成:用于固定安装的底座(1)和固定支座(2-1到2-4);提供偏转驱动的弹性筝形环(3-1到3-4)和偏转支撑座(5),以及反射镜承载台(6)、反射镜(7)以及约束反射镜承载台(6)产生偏转位移的柔性铰链和其连接台(8-1到8-4)。四个压电陶瓷(4-1到4-4)实现偏转角度的输出控制,具有控制精度高,响应快的特点;压电陶瓷(4-1到4-4)分为两组,采用差动的方式驱动同组的压电陶瓷(4-1和4-2或4-3和4-4),即可实现对应的单轴偏转位移,同时驱动四个压电陶瓷(4-1到4-4)即可实现反射镜(7)的双轴偏转;装置采用反射镜(7)沉降的结构形式,偏转轴相交于反射镜(7)表面,因此减少了偏转时镜面纵向位移所带来的光路控制误差;同时,结构具有低矮、紧凑的结构特征,所需的安装使用空间小。
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Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)