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1. (WO2018105444) PROBE PIN
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Pub. No.: WO/2018/105444 International Application No.: PCT/JP2017/042592
Publication Date: 14.06.2018 International Filing Date: 28.11.2017
IPC:
G01R 1/067 (2006.01) ,H01L 21/66 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
R
MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
1
Details of instruments or arrangements of the types covered by groups G01R5/-G01R13/122
02
General constructional details
06
Measuring leads; Measuring probes
067
Measuring probes
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
L
SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21
Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
66
Testing or measuring during manufacture or treatment
Applicants:
三菱電機株式会社 MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION [JP/JP]; 東京都千代田区丸の内二丁目7番3号 7-3, Marunouchi 2-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008310, JP
Inventors:
浅野 佳江 ASANO, Yoshie; JP
濱口 恒夫 HAMAGUCHI, Tsuneo; JP
石田 清 ISHIDA, Kiyoshi; JP
中川 正貢 NAKAGAWA, Masatsugu; JP
Agent:
特許業務法人深見特許事務所 FUKAMI PATENT OFFICE, P.C.; 大阪府大阪市北区中之島三丁目2番4号 中之島フェスティバルタワー・ウエスト Nakanoshima Festival Tower West, 2-4, Nakanoshima 3-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5300005, JP
Priority Data:
2016-23820208.12.2016JP
Title (EN) PROBE PIN
(FR) BROCHE DE SONDE
(JA) プローブピン
Abstract:
(EN) This probe pin (1) is provided with a plunger (10), a coil spring (20), and a connection member (30). The connection member (30) has a first end surface (32) that faces a third end part (12) of the plunger (10) and a second end surface (33) that faces a fourth end part (21) of the coil spring (20). The first end surface (32) is in point contact with the third end part (12). At least one from among the third end part (12) and first end surface (32) includes a portion of a first spherical surface at a first contact part between the third end part (12) and the first end surface (32). The second end surface (33) is configured so as not to expand the inner diameter or outer diameter of the coil spring (20) at the fourth end part (21). As a result, the probe pin (1) has a long life.
(FR) La présente invention concerne une broche de sonde (1) qui est pourvue d’un piston (10), d’un ressort hélicoïdal (20) et d’un élément de connexion (30). L’élément de connexion (30) a une première surface d’extrémité (32) qui fait face à une troisième partie d’extrémité (12) du piston (10) et une deuxième surface d’extrémité (33) qui fait face à une quatrième partie d’extrémité (21) du ressort hélicoïdal (20). La première surface d’extrémité (32) est en contact ponctuel avec la troisième partie d’extrémité (12). Au moins l’une parmi la troisième partie d’extrémité (12) et la première surface d’extrémité (32) comprend une partie d’une première surface sphérique au niveau d’une première partie de contact entre la troisième partie d’extrémité (12) et la première surface d’extrémité (32). La deuxième surface d’extrémité (33) est configurée de façon à ne pas étendre le diamètre interne ou le diamètre externe du ressort hélicoïdal (20) au niveau de la quatrième partie d’extrémité (21). En conséquence, la broche de sonde (1) a une longue durée de vie.
(JA) プローブピン(1)は、プランジャ(10)と、コイルバネ(20)と、接続部材(30)とを備える。接続部材(30)は、プランジャ(10)の第3端部(12)に面する第1端面(32)と、コイルバネ(20)の第4端部(21)に面する第2端面(33)とを有する。第1端面(32)は、第3端部(12)に点接触している。第3端部(12)及び第1端面(32)の少なくとも1つは、第3端部(12)と第1端面(32)との間の第1接触部において、第1球面の一部を含む。第2端面(33)は、第4端部(21)におけるコイルバネ(20)の内径及び外径を拡げないように構成されている。そのため、プローブピン(1)は長い寿命を有する。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)