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1. (WO2018105188) ULTRAPURE WATER PRODUCTION APPARATUS AND OPERATION METHOD FOR ULTRAPURE WATER PRODUCTION APPARATUS
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Pub. No.:    WO/2018/105188    International Application No.:    PCT/JP2017/032788
Publication Date: 14.06.2018 International Filing Date: 12.09.2017
IPC:
C02F 1/58 (2006.01), B01D 61/00 (2006.01), B01D 61/44 (2006.01), C02F 1/20 (2006.01), C02F 1/32 (2006.01), C02F 1/42 (2006.01), C02F 1/44 (2006.01), C02F 1/469 (2006.01), C02F 9/02 (2006.01), C02F 9/04 (2006.01), C02F 9/12 (2006.01)
Applicants: KURITA WATER INDUSTRIES LTD. [JP/JP]; 10-1, Nakano 4-chome, Nakano-ku, Tokyo 1640001 (JP)
Inventors: MINATO Yasuharu; (JP).
CHUUMAN Takaaki; (JP)
Agent: HAYAKAWA Yuzi; (JP).
MURASAME Keisuke; (JP)
Priority Data:
2016-236235 05.12.2016 JP
Title (EN) ULTRAPURE WATER PRODUCTION APPARATUS AND OPERATION METHOD FOR ULTRAPURE WATER PRODUCTION APPARATUS
(FR) APPAREIL DE PRODUCTION D'EAU ULTRAPURE ET PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT D'APPAREIL DE PRODUCTION D'EAU ULTRAPURE
(JA) 超純水製造装置及び超純水製造装置の運転方法
Abstract: front page image
(EN)An ultrapure water production apparatus 1 is provided with a pretreatment device 2; a primary pure water production device 3; and a subsystem 4. The primary pure water production device 3 has: a tank 5; an ultraviolet oxidation device 6; a platinum group metal catalyst resin column 7; a regenerative ion exchange device 8; and a membrane-type degasifier 9. The subsystem 4 comprises: a subtank 11; an ultraviolet oxidation device 12 for treating primary pure water fed from the subtank 11; a platinum group metal catalyst resin column 13; a membrane-type degasifier 14; a non-regenerative mixed-bed ion exchange device 15; and an ultrafiltration (UF) membrane 16. The platinum group metal catalyst resin is obtained by causing a carrier resin to carry a platinum group metal thereon, and in particular, it is preferable to have nano-order sized particles of a platinum group metal carried on the carrier resin. By having the ultraviolet oxidation device 12 and the platinum group metal catalyst resin column 13 in the subsystem 4, the ultrapure water production apparatus 1 is able to minimize the deterioration of hydrogen peroxide removal capability.
(FR)L'invention concerne un appareil de production d'eau ultrapure (1) comportant un dispositif de prétraitement (2) ; un dispositif de production d’eau pure principal (3) ; et un sous-système (4). Le dispositif de production d'eau pure principal (3) présente : un réservoir (5) ; un dispositif d'oxydation par ultraviolet (6) ; une colonne de résine à catalyseur métallique du groupe platine (7) ; un dispositif d'échange d'ions régénératif (8) ; et un groupe de dégazage de type à membrane (9). Le sous-système (4) comprend : un sous-réservoir (11) ; un dispositif d'oxydation par ultraviolet (12) pour traiter l'eau pure principal alimentée en provenance du sous-réservoir (11) ; une colonne de résine à catalyseur métallique du groupe platine (13) ; un groupe de dégazage de type à membrane (14) ; un dispositif d'échange d'ions à lit mixte non régénératif (15) ; et une membrane d'ultrafiltration (UF) (16). La résine à catalyseur métallique du groupe platine est obtenue en amenant une résine porteuse à porter un métal du groupe platine sur cette dernière, et en particulier, il est préférable que la résine porteuse porte des particules de taille nanométrique d'un métal du groupe platine. Par la présence du dispositif d'oxydation par ultraviolet (12) et de la colonne de résine à catalyseur métallique du groupe platine (13) dans le sous-système (4), l'appareil de production d'eau ultrapure (1) est apte à réduire au minimum la détérioration de la capacité d'élimination de peroxyde d'hydrogène.
(JA)超純水製造装置1は、前処理装置2と一次純水製造装置3とサブシステム4とを備える。一次純水製造装置3は、タンク5と紫外線酸化装置6と白金族金属触媒樹脂塔7と再生型イオン交換装置8と膜式脱気装置9とを有する。サブシステム4は、サブタンク11とこのサブタンク11から送給される一次純水を処理する紫外線酸化装置12と白金族金属触媒樹脂塔13と膜式脱気装置14と非再生型混床式イオン交換装置15と限外濾過(UF)膜16とで構成されている。白金族金属触媒樹脂は、担体樹脂に白金族金属を担持させたものであり、特に担体樹脂に白金族の金属のナノオーダーの粒径の粒子を担持させたものが好ましい。かかる超純水製造装置1によれば、サブシステム4に紫外線酸化装置12と白金族金属触媒樹脂塔13とを有することにより、過酸化水素除去能力の低下を抑制することができる。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)