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1. (WO2018105008) POWER GENERATING ELEMENT MANUFACTURING METHOD
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Pub. No.: WO/2018/105008 International Application No.: PCT/JP2016/086075
Publication Date: 14.06.2018 International Filing Date: 05.12.2016
IPC:
H02N 2/18 (2006.01) ,H01L 41/113 (2006.01)
Applicants: TRI-FORCE MANAGEMENT CORPORATION[JP/JP]; 27, Sugaya 4-chome, Ageo-shi, Saitama 3620003, JP
Inventors: OKADA Kazuhiro; JP
OKADA Miho; JP
Agent: HIROSAWA Isao; JP
Priority Data:
Title (EN) POWER GENERATING ELEMENT MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'ÉLÉMENT DE GÉNÉRATION D'ÉNERGIE
(JA) 発電素子の製造方法
Abstract: front page image
(EN) A power generating element 10 is manufactured by stacking a main substrate K1, an intermediate substrate K2, and a base substrate K3. Etching or dicing is performed with respect to an upper-surface side of an unprocessed intermediate substrate K2 to form a groove 42 for separating portions that are to become a first base portion 34 and a weight body 22 from the other portions. Further, a part of the upper-surface side of the portion that is to become the weight body 22 and the upper-surface side of the other portions are dug and recessed by etching. The upper-surface side of the intermediate substrate K2 is contacted with the back-surface side of the main substrate K1, the first base portion 34 is bonded to a peripheral portion 12, and the weight body 22 is bonded to a weight body attachment portion 16. The intermediate substrate K2 is cut from the back-surface side at the position of the groove 42, thereby removing the other portions.
(FR) La présente invention concerne un élément de génération d'énergie 10 fabriqué par empilement d'un substrat principal K1, d'un substrat intermédiaire K2 et d'un substrat de base K3. La gravure ou le découpage en dés est effectué par rapport à un côté de surface supérieure d'un substrat intermédiaire non traité K2 pour former une rainure 42 afin de séparer des parties qui doivent devenir une première partie de base 34 et un corps de poids 22 à partir des autres parties. En outre, une partie du côté de surface supérieure de la partie qui est destinée à devenir le corps de poids 22 et le côté de surface supérieure des autres parties sont creusés et évidés par gravure. Le côté de surface supérieure du substrat intermédiaire K2 est mis en contact avec le côté de surface arrière du substrat principal K1, la première partie de base 34 est liée à une partie périphérique 12, et le corps de poids 22 est lié à une partie de fixation de corps de poids 16. Le substrat intermédiaire K2 est coupé du côté surface arrière au niveau de la position de la rainure 42, ce qui permet de retirer les autres parties.
(JA) 主基板K1、中基板K2及び台座基板K3を積層して発電素子10を製造する。未加工の中基板K2の表面側に対してエッチング又はダイシングを行い、第一台座部34及び重錘体22となる部分とその他の部分とを区切る溝42を形成する。さらに、重錘体22となる部分の表面側の一部及び前記その他の部分の表面側をエッチングにより掘り込んで凹ませる。主基板K1の裏面側に中基板K2の表面側を当接させ、周縁部12に第一台座部34を接合するとともに、重錘体取り付け部16に重錘体22を接合する。中基板K2の溝42の位置を裏面側から切断し、その他の部分を除去する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)