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1. (WO2018105002) LASER DEVICE
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Pub. No.:    WO/2018/105002    International Application No.:    PCT/JP2016/086057
Publication Date: 14.06.2018 International Filing Date: 05.12.2016
IPC:
H01S 3/225 (2006.01), H01S 3/0943 (2006.01), H01S 3/104 (2006.01)
Applicants: GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558 (JP)
Inventors: ASAYAMA, Takeshi; (JP)
Agent: TSUBASA PATENT PROFESSIONAL CORPORATION; 3F, Sawada Building, 15-9, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1600022 (JP)
Priority Data:
Title (EN) LASER DEVICE
(FR) DISPOSITIF LASER
(JA) レーザ装置
Abstract: front page image
(EN)This laser device comprises: a laser chamber containing a pair of electrodes and emitting, at each frequency among a plurality of pulse repeat frequencies, a pulsed laser light having a pulse energy corresponding to a voltage applied between the pair of electrodes; an energy detector provided on the light path of the pulsed laser light, and detecting the pulse energy of the pulsed laser light; a voltage control unit controlling the applied voltage on the basis of a target pulse energy and the pulse energy detected by the energy detector; and a pulse energy control unit periodically varying the target pulse energy at a modulation frequency corresponding to each of the plurality of pulse repeat frequencies with a reference energy serving as the center for the variation.
(FR)L'invention concerne un dispositif laser comprenant : une chambre laser contenant une paire d'électrodes et émettant, à chaque fréquence parmi une pluralité de fréquences de répétition d'impulsions, une lumière laser à impulsions ayant une énergie d'impulsion correspondant à une tension appliquée entre la paire d'électrodes; un détecteur d'énergie disposé sur le trajet de lumière de la lumière laser à impulsions, et détectant l'énergie d'impulsion de la lumière laser à impulsions; une unité de commande de tension commandant la tension appliquée sur la base d'une énergie d'impulsion cible et de l'énergie d'impulsion détectée par le détecteur d'énergie; et une unité de commande d'énergie d'impulsion faisant varier périodiquement l'énergie d'impulsion cible à une fréquence de modulation correspondant à chacune de la pluralité de fréquences de répétition d'impulsions avec une énergie de référence servant de centre pour la variation.
(JA)本開示によるレーザ装置は、一対の電極を含み、一対の電極間に印加された印加電圧に応じたパルスエネルギを有するパルスレーザ光を、複数のパルス繰り返し周波数における各周波数で出射するレーザチャンバと、パルスレーザ光の光路上に設けられ、パルスレーザ光のパルスエネルギを検出するエネルギ検出器と、目標パルスエネルギとエネルギ検出器によって検出されたパルスエネルギとに基づいて、印加電圧を制御する電圧制御部と、目標パルスエネルギを、基準エネルギを変動中心として、複数のパルス繰り返し周波数のそれぞれに応じた変調周波数で周期的に変動させるパルスエネルギ制御部とを備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)