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1. (WO2018104931) METHOD AND APPARATUS FOR JUDGING DEFECT QUALITY
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Pub. No.:    WO/2018/104931    International Application No.:    PCT/IL2017/051303
Publication Date: 14.06.2018 International Filing Date: 30.11.2017
IPC:
G01N 21/88 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/312 (2006.01)
Applicants: ORBOTECH LTD. [IL/IL]; P.O.Box 215 Shderot Hasanhedrin 8110101 Yavne (IL)
Inventors: FELDMAN, Boris; (IL).
SUGAYA, Katsuya; (JP).
TABATA, Yuzuru; (JP).
YAMAMOTO, Shigeru; (JP)
Priority Data:
2016-237642 07.12.2016 JP
Title (EN) METHOD AND APPARATUS FOR JUDGING DEFECT QUALITY
(FR) PROCÉDÉ ET APPAREIL POUR ÉVALUER UNE QUALITÉ DE DÉFAUT
Abstract: front page image
(EN)A method for judging defect quality includes acquiring plural images with a predetermined step in a height direction by an optical image means (22) to an inspection subject (10) which includes multilayer transparent thin films (1, 2, 3, 4, 5, 6); calculating sharpness of partial images from luminance differences to adjacent pixels against each pixel of the plural images; calculating height information of the partial images from an image number which a calculating result of the sharpness at a same pixel position is maximum over all images of the plural images; obtaining three dimension information of all the images from calculating the height information; and judging defect quality of the inspection subject based on the three dimension information.
(FR)L'invention concerne un procédé pour évaluer une qualité de défaut qui consiste à acquérir plusieurs images, avec un palier prédéfini dans une direction de hauteur par un moyen d'image optique (22), d'un sujet d'inspection (10) qui comprend des films minces transparents multicouches (1, 2, 3, 4, 5, 6) ; à calculer la netteté d'images partielles à partir de différences de luminance par rapport à des pixels adjacents pour chaque pixel de la pluralité d'images ; à calculer des informations de hauteur des images partielles à partir d'un nombre d'images où un résultat de calcul de la netteté à une même position de pixel est maximum sur toutes les images de la pluralité d'images ; à obtenir des informations tridimensionnelles de toutes les images à partir du calcul des informations de hauteur ; et à déterminer une qualité de défaut du sujet d'inspection sur la base des informations tridimensionnelles.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)