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1. (WO2018102439) ATOMIC FORCE MICROSCOPY BASED ON NANOWIRE TIPS FOR HIGH ASPECT RATIO NANOSCALE METROLOGY/CONFOCAL MICROSCOPY
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Pub. No.:    WO/2018/102439    International Application No.:    PCT/US2017/063754
Publication Date: 07.06.2018 International Filing Date: 29.11.2017
IPC:
G01Q 70/08 (2010.01), G01Q 70/16 (2010.01), G01Q 60/06 (2010.01), G01Q 60/38 (2010.01), B82Y 35/00 (2011.01)
Applicants: STC. UNM [US/US]; Lobo Rainforest Bldg. 101 Broadway Blvd. NE, Suite 1100 Albuquerque, NM 87102 (US)
Inventors: BUSANA, Tito; (US).
BRUECK, Steven R.J.; (US).
FEEZELL, Daniel; (US).
BEHZADIRAD, Mahmoud; (US)
Agent: HSIEH, Timothy M.; (US)
Priority Data:
62/427,363 29.11.2016 US
Title (EN) ATOMIC FORCE MICROSCOPY BASED ON NANOWIRE TIPS FOR HIGH ASPECT RATIO NANOSCALE METROLOGY/CONFOCAL MICROSCOPY
(FR) MICROSCOPIE À FORCE ATOMIQUE BASÉE SUR DES POINTES DE NANOFILS POUR MICROSCOPIE CONFOCALE/MÉTROLOGIE À ÉCHELLE NANOMÉTRIQUE À RAPPORT DE FORME ÉLEVÉ
Abstract: front page image
(EN)Nanowires that may be utilized in microscopy, for example atomic force microscopy (AFM), as part of an AFM probe, as well as for other uses, are disclosed. The nanowires may be formed from a Group III nitride such as an epitaxial layer that may be or include gallium nitride, indium nitride, aluminum nitride, and an alloy of these materials. During use of the AFM probe to measure a topography of a test sample surface, the nanowire can activated and caused to lase and emit a light, thereby illuminating the surface with the light. In an implementation, the light can be collected by the AFM probe itself, for example through an optical fiber to which the nanowire is attached.
(FR)L'invention concerne des nanofils qui peuvent être utilisés en microscopie, par exemple la microscopie à force atomique (AFM), en tant que partie d'une sonde AFM, ainsi que pour d'autres utilisations. Les nanofils peuvent être formés à partir d'un nitrure du groupe III tel qu'une couche épitaxiale qui peut être composée de nitrure de gallium, de nitrure d'indium, de nitrure d'aluminium et d'un alliage de ces matériaux ou comprendre ces matériaux. Pendant l'utilisation de la sonde AFM pour mesurer une topographie d'une surface d'échantillon d'essai, le nanofil peut être activé et amené à produire un effet laser et émettre une lumière, de sorte qu'il éclaire ainsi la surface avec la lumière. Dans un mode de réalisation, la lumière peut être recueillie par la sonde AFM elle-même, par exemple par l'intermédiaire d'une fibre optique à laquelle le nanofil est fixé.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)