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1. (WO2018102143) TWO-AXIS VARIABLE WIDTH MASS RESOLVING APERTURE WITH FAST ACTING SHUTTER MOTION
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Pub. No.:    WO/2018/102143    International Application No.:    PCT/US2017/061992
Publication Date: 07.06.2018 International Filing Date: 16.11.2017
IPC:
H01J 37/02 (2006.01), H01J 37/15 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Applicants: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; Attn: Denis A. Robitaille 108 Cherry Hill Drive Beverly, Massachusetts 01915 (US)
Inventors: CRISTOFORO, Michael Paul; (US).
MCCABE, Justin White; (US)
Priority Data:
15/363,728 29.11.2016 US
Title (EN) TWO-AXIS VARIABLE WIDTH MASS RESOLVING APERTURE WITH FAST ACTING SHUTTER MOTION
(FR) OUVERTURE DE RÉSOLUTION DE MASSE À LARGEUR VARIABLE À DEUX AXES AVEC MOUVEMENT D'OBTURATEUR À ACTION RAPIDE
Abstract: front page image
(EN)A resolving aperture assembly for an ion implantation system has a first plate and a second plate, where the first plate and second plate generally define a resolving aperture therebetween. A position of the first plate with respect to the second plate generally defines a width of the resolving aperture. One or more actuators are operably coupled to one or more of the first plate and second plate and are configured to selectively vary the position the first plate and second plate with respect to one another, thus selectively varying the width of the resolving aperture. A servo motor precisely varies the resolving aperture width and a pneumatic cylinder independently selectively closes the resolving aperture. A downstream position actuator varies a position of the resolving aperture along a path of the ion beam, and a controller controls the one or more actuators based on desired properties of the ion beam.
(FR)L'invention concerne un ensemble ouverture de résolution pour un système d'implantation ionique comprenant une première plaque et une seconde plaque, la première plaque et la seconde plaque définissant généralement une ouverture de résolution entre elles. Une position de la première plaque par rapport à la seconde plaque définit généralement une largeur de l'ouverture de résolution. Un ou plusieurs actionneurs sont couplés de manière fonctionnelle à une ou plusieurs parmi la première plaque et la seconde plaque et sont configurés pour faire varier sélectivement la position de la première plaque et de la seconde plaque l'une par rapport à l'autre, ce qui permet de faire varier sélectivement la largeur de l'ouverture de résolution. Un servomoteur fait varier avec précision la largeur d'ouverture de résolution et un cylindre pneumatique ferme sélectivement indépendamment l'ouverture de résolution. Un actionneur de position aval fait varier une position de l'ouverture de résolution le long d'un trajet du faisceau d'ions, et un dispositif de commande commande l'un ou plusieurs actionneurs sur la base des propriétés souhaitées du faisceau d'ions.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)