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1. (WO2018102049) HOMOGENIZATION OF LIGHT BEAM FOR SPECTRAL FEATURE METROLOGY
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Pub. No.:    WO/2018/102049    International Application No.:    PCT/US2017/057850
Publication Date: 07.06.2018 International Filing Date: 23.10.2017
IPC:
G01J 3/50 (2006.01), G01J 11/00 (2006.01)
Applicants: CYMER, LLC [US/US]; 17075 Thornmint Court M/S 4-2C San Diego, California 92127-2413 (US)
Inventors: ZHAO, Zhong Quan; (US).
KING, Brian Edward; (US).
DUFFEY, Thomas Patrick; (US)
Agent: NGUYEN, Joseph A.; (US)
Priority Data:
15/364,006 29.11.2016 US
Title (EN) HOMOGENIZATION OF LIGHT BEAM FOR SPECTRAL FEATURE METROLOGY
(FR) HOMOGÉNÉISATION D'UN FAISCEAU DE LUMIÈRE POUR MÉTROLOGIE D'UNE CARACTÉRISTIQUE SPECTRALE
Abstract: front page image
(EN)A metrology system is used for measuring a spectral feature of a pulsed light beam. The metrology system includes: a beam homogenizer in the path of the pulsed light beam, the beam homogenizer having an array of wavefront modification cells, with each cell having a surface area that matches a size of at least one of the spatial modes of the light beam; an optical frequency separation apparatus in the path of the pulsed light beam exiting the beam homogenizer, wherein the optical frequency separation apparatus is configured to interact with the pulsed light beam and to output a plurality of spatial components that correspond to the spectral components of the pulsed light beam: and at least one sensor that receives and senses the output spatial components.
(FR)Cette invention concerne un système de métrologie utilisé pour mesurer une caractéristique spectrale d'un faisceau de lumière pulsée. Le système de métrologie comprend : un homogénéisateur de faisceau sur le trajet du faisceau de lumière pulsée, l'homogénéisateur de faisceau comprenant un réseau de cellules de modification de front d'onde, où chaque cellule a une surface qui correspond à la taille d'au moins l'un des modes spatiaux du faisceau de lumière ; un appareil de séparation de fréquence optique sur le trajet du faisceau de lumière pulsée sortant de l'homogénéisateur de faisceau, où l'appareil de séparation de fréquence optique est conçu pour interagir avec le faisceau de lumière pulsée et pour délivrer une pluralité de composantes spatiales qui correspondent aux composantes spectrales du faisceau de lumière pulsée ; et au moins un capteur qui reçoit et détecte les composantes spatiales de sortie.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)