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Pub. No.: WO/2018/101133 International Application No.: PCT/JP2017/041896
Publication Date: 07.06.2018 International Filing Date: 21.11.2017
G01N 23/223 (2006.01) ,G01N 23/207 (2018.01)
Applicants: RIGAKU CORPORATION[JP/JP]; 3-9-12, Matsubara-cho, Akishima-shi, Tokyo 1968666, JP
Inventors: SAKO, Yukio; JP
Agent: HARUKA PATENT & TRADEMARK ATTORNEYS; Rokubancho SK Bldg. 5th Floor, 3, Rokubancho, Chiyoda-ku, Tokyo 1020085, JP
Priority Data:
(JA) 蛍光X線分析装置
Abstract: front page image
(EN) The purpose of the present invention is to provide an X-ray fluorescence analyzer having a simple structure and being capable of rapidly performing highly accurate analysis. This X-ray fluorescence analyzer has: an X-ray source (100) that irradiates primary X rays on a sample (103); a spectroscopic element (120) that splits a secondary X ray generated from the sample (103); an energy-dispersive detector (110) that measures the intensity of the secondary X ray; a retracting mechanism (108) that retracts the spectroscopic element (120) from the secondary X ray path; a scanning mechanism (114) that continuously moves the detector (110) between an auxiliary measurement area (124) in which the secondary X ray is measured in a state in which the spectroscopic element (120) is retracted and a main measurement area (122) in which the split secondary X ray is measured; a storage device (116) that pre-stores ratios between background intensities measured in the auxiliary measurement area (124) and the background intensities measured in the main measurement area (122); and a calculation device (118) that performs correction and quantitative analysis, said correction comprising a value, being the background intensity in the auxiliary measurement area (124) multiplied by the ratio, being deducted from the measured intensity in the main measurement area (122).
(FR) Le but de la présente invention est de fournir un analyseur de fluorescence X possédant une structure simple et permettant d'effectuer rapidement une analyse de haute précision. Ledit analyseur de fluorescence X comprend : une source de rayons X (100) qui irradie des rayons X primaires sur un échantillon (103) ; un élément spectroscopique (120) qui divise un rayon X secondaire généré à partir de l'échantillon (103) ; un détecteur à dispersion d'énergie (110) qui mesure l'intensité du rayon X secondaire ; un mécanisme de rétraction (108) qui rétracte l'élément spectroscopique (120) à partir du trajet de rayons X secondaire ; un mécanisme de balayage (114) qui déplace en continu le détecteur (110) entre une zone de mesure auxiliaire (124) dans laquelle le rayon X secondaire est mesuré dans un état dans lequel l'élément spectroscopique (120) est rétracté et une zone de mesure principale (122) dans laquelle le rayon X secondaire divisé est mesuré ; un dispositif de mémorisation (116) qui pré-mémorise des rapports entre des intensités d'arrière-plan mesurées dans la zone de mesure auxiliaire (124) et les intensités d'arrière-plan mesurées dans la zone de mesure principale (122) ; et un dispositif de calcul (118) qui effectue une correction et une analyse quantitative, ladite correction comprenant une valeur, l'intensité d'arrière-plan dans la zone de mesure auxiliaire (124) étant multipliée par le rapport, étant déduit de l'intensité mesurée dans la zone de mesure principale (122).
(JA) 本発明は、簡素な構造を有し、高精度な分析を迅速に行うことが可能な蛍光X線分析装置を提供することを目的とする。 本発明の蛍光X線分析装置は、試料(103)に1次X線を照射するX線源(100)と、試料(103)から発生した2次X線を分光する分光素子(120)と、2次X線の強度を測定するエネルギー分散型の検出器(110)と、分光素子(120)を2次X線の経路から退避する退避機構(108)と、分光素子(120)が退避された状態で2次X線を測定する副測定領域(124)と、分光された2次X線を測定する主測定領域(122)との間で検出器(110)を連続的に移動する走査機構(114)と、副測定領域(124)で測定されたバックグラウンド強度と主測定領域(122)で測定されたバックグラウンド強度との比率を予め記憶する記憶装置(116)と、主測定領域(122)での測定強度から副測定領域(124)でのバックグラウンド強度に前記比率を乗じた値を差し引く補正をし、定量分析を行う演算装置(118)とを有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)