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1. (WO2018101107) ELECTROCONDUCTIVE-PARTICLE-PLACEMENT FILM, METHOD FOR MANUFACTURING SAME, INSPECTION PROBE UNIT, AND CONTINUITY INSPECTION METHOD
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Pub. No.:    WO/2018/101107    International Application No.:    PCT/JP2017/041699
Publication Date: 07.06.2018 International Filing Date: 20.11.2017
IPC:
H01R 11/01 (2006.01), G01R 1/06 (2006.01), G01R 31/26 (2014.01), H01L 21/66 (2006.01), H01R 43/00 (2006.01)
Applicants: DEXERIALS CORPORATION [JP/JP]; Gate City Osaki East Tower 8F., 1-11-2, Osaki, Shinagawa-ku, Tokyo 1410032 (JP)
Inventors: HAYASHI, Shinichi; (JP).
AKUTSU, Yasushi; (JP)
Agent: TAJIME & TAJIME; Room No. 201, New-Well-Ikuta Bldg., 26-28, Mita 1-chome, Tama-ku, Kawasaki-shi, Kanagawa 2140034 (JP)
Priority Data:
2016-233397 30.11.2016 JP
Title (EN) ELECTROCONDUCTIVE-PARTICLE-PLACEMENT FILM, METHOD FOR MANUFACTURING SAME, INSPECTION PROBE UNIT, AND CONTINUITY INSPECTION METHOD
(FR) PELLICULE DE PLACEMENT DE PARTICULES ÉLECTROCONDUCTRICES, SON PROCÉDÉ DE FABRICATION, UNITÉ DE SONDE D’INSPECTION, ET PROCÉDÉ D’INSPECTION DE CONTINUITÉ
(JA) 導電粒子配置フィルム、その製造方法、検査プローブユニット、導通検査方法
Abstract: front page image
(EN)This electroconductive particle placement film, which is useful as an inspection probe unit for inspecting the continuity of objects that are to be subjected to fine-pitch continuity inspection such as semiconductor devices, has electroconductive particles placed in the planar direction of an elastomer film. The thickness of the elastomer film approximately matches the average particle diameter of the electroconductive particles. The end parts of the electroconductive particles are positioned near the respectively farthest outer surface of both surfaces of the elastomer film. Same or different electroconductive particle placement films may be laminated. An adhesive layer may also be formed on at least one surface of the electroconductive particle placement film.
(FR)La présente invention concerne une pellicule de placement de particules électroconductrices, laquelle est utile en tant qu’unité de sonde d’inspection pour l’inspection de la continuité d’objets qui doivent être soumis à une inspection de continuité à pas fin, par exemple des dispositifs semi-conducteurs, et laquelle a des particules électroconductrices placées dans la direction planaire d’une pellicule d’élastomère. L’épaisseur de la pellicule d’élastomère est approximativement appariée au diamètre moyen de particules des particules électroconductrices. Les parties d’extrémité des particules électroconductrices sont positionnées près de la surface extérieure respectivement la plus éloignée des deux surfaces de la pellicule d’élastomère. Des pellicules de placement de particules électroconductrices identiques ou différentes peuvent être stratifiées. Une couche adhésive peut également être formée sur au moins une surface de la pellicule de placement de particules électroconductrices.
(JA)半導体装置等のファインピッチの導通検査対象の導通検査を行うための検査プローブユニットに有用な本発明の導電粒子配置フィルムは、導電粒子をエラストマーフィルムの面方向に配置させたものである。エラストマーフィルムの厚さは、導電粒子の平均粒子径と略一致している。エラストマーフィルムの両面のそれぞれの最外面の近傍に、導電粒子の端部が位置している。同一または異なる導電粒子配置フィルムが積層してもよい。導電粒子配置フィルムの少なくとも片面には、粘着層が形成されていてもよい。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)