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1. (WO2018101023) X-RAY REFLECTIVITY MEASUREMENT DEVICE
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Pub. No.:    WO/2018/101023    International Application No.:    PCT/JP2017/040880
Publication Date: 07.06.2018 International Filing Date: 14.11.2017
IPC:
G01N 23/20 (2018.01)
Applicants: RIGAKU CORPORATION [JP/JP]; 9-12, Matsubara-cho 3-chome, Akishima-shi, Tokyo 1968666 (JP)
Inventors: MURAKAMI, Satoshi; (JP).
OMOTE, Kazuhiko; (JP).
KIKUTA, Shinya; (JP).
IKESHITA, Akihiro; (JP)
Agent: SUGIMOTO, Shuji; (JP).
NODA, Masashi; (JP).
TSUTSUMI, Takeo; (JP)
Priority Data:
2016-231401 29.11.2016 JP
Title (EN) X-RAY REFLECTIVITY MEASUREMENT DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE RÉFLECTIVITÉ DE RAYONS X
(JA) X線反射率測定装置
Abstract: front page image
(EN)This X-ray reflectivity measurement device comprises: an irradiation-angle-change-enabling means (10) for changing the angle at which a concentrated X-ray beam (6) is irradiated onto a specimen surface (8a); a fixed position-sensitive detector (14); and a reflection-intensity-calculation means (15) that, solely for detection elements (11) that are synchronized with the change in the irradiation angle (θ) of the collective X-ray beam (6) caused by the irradiation-angle-change-enabling means (10) and that are positioned within the emission angle band of a reflected X-ray beam (12) in the position-sensitive detector (14), adds together the detection intensity of corresponding detection elements (11) for each reflection angle of reflected X-rays (13) constituting the reflected X-ray beam (12).
(FR)La présente invention concerne un dispositif de mesure de réflectivité de rayons X qui comprend : un moyen d’activation de changement d’angle d’irradiation (10) pour modifier l’angle auquel un faisceau de rayons X concentré (6) est irradié sur une surface d’échantillon (8a) ; un détecteur fixe sensible à la position (14) ; et un moyen de calcul d’intensité de réflexion (15) qui, uniquement pour des éléments de détection (11) qui sont synchronisés avec le changement de l’angle d’irradiation (θ) du faisceau de rayons X collectif (6) causé par le moyen d’activation de changement d’angle d’irradiation (10) et qui sont positionnés dans la bande d’angle d’émission d’un faisceau de rayons X réfléchi (12) dans le détecteur sensible à la position (14), additionne conjointement l’intensité de détection d’éléments de détection correspondants (11) pour chaque angle de réflexion des rayons X réfléchis (13) constituant le faisceau de rayons X réfléchi (12).
(JA)本発明のX線反射率測定装置は、試料表面(8a)への集光X線ビーム(6)の照射角度を変化させる照射角度可変手段(10)と、固定された位置敏感型検出器(14)と、照射角度可変手段(10)による集光X線ビーム(6)の照射角度(θ)の変化に同期して、位置敏感型検出器(14)において反射X線ビーム(12)の発散角度幅内に位置する検出素子(11)のみについて、反射X線ビーム(12)を構成する反射X線(13)の反射角度ごとに、対応する検出素子(11)の検出強度を積算する反射強度算出手段(15)とを備える。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)