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1. (WO2018100608) THERMAL CONDUCTIVITY MEASUREMENT DEVICE, THERMAL CONDUCTIVITY MEASUREMENT METHOD, AND VACUUM EVALUATION DEVICE
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Pub. No.: WO/2018/100608 International Application No.: PCT/JP2016/085315
Publication Date: 07.06.2018 International Filing Date: 29.11.2016
IPC:
G01N 25/18 (2006.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
N
INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
25
Investigating or analysing materials by the use of thermal means
18
by investigating thermal conductivity
Applicants:
英弘精機株式会社 EKO INSTRUMENTS CO., LTD. [JP/JP]; 東京都渋谷区幡ヶ谷一丁目21番8号 1-21-8 Hatagaya, Shibuya-ku, Tokyo 1510072, JP
Inventors:
長谷川 壽一 HASEGAWA, Toshikazu; JP
後藤 志宏 GOTO, Yukihiro; JP
千葉 勇 CHIBA, Isamu; JP
Agent:
稲葉 良幸 INABA, Yoshiyuki; JP
大貫 敏史 ONUKI, Toshifumi; JP
Priority Data:
Title (EN) THERMAL CONDUCTIVITY MEASUREMENT DEVICE, THERMAL CONDUCTIVITY MEASUREMENT METHOD, AND VACUUM EVALUATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE CONDUCTIVITÉ THERMIQUE, PROCÉDÉ DE MESURE DE CONDUCTIVITÉ THERMIQUE ET DISPOSITIF D'ÉVALUATION DE VIDE
(JA) 熱伝導率測定装置、熱伝導率測定方法、及び真空度評価装置
Abstract:
(EN) The present invention is provided with: a heat generation source disposed so as to be in contact with an object subject to thermal conductivity measurement; a thermal resistance material disposed so as to be in contact with the heat generation source; at least a pair of differential thermocouples for measuring the voltage value arising from the difference in temperature between two points on the thermal resistance material, the difference being generated by the flow of heat from the heat generation source; and a calculation device for computing the rate at which the voltage output from the differential thermocouples changes over time, and for computing, on the basis of the computed rate of change over time, thermal conductivity of the object subject to thermal conductivity measurement.
(FR) La présente invention comprend: une source de génération de chaleur disposée de manière à être en contact avec un objet soumis à une mesure de conductivité thermique; un matériau de résistance thermique disposé de manière à être en contact avec la source de génération de chaleur; au moins une paire de thermocouples différentiels pour mesurer la valeur de tension résultant de la différence de température entre deux points sur le matériau de résistance thermique, la différence étant générée par le flux de chaleur provenant de la source de génération de chaleur; et un dispositif de calcul pour calculer la fréquence à laquelle la tension provenant des thermocouples différentiels change au cours du temps et pour calculer, sur la base de la fréquence de variation calculée au cours du temps, la conductivité thermique de l'objet soumis à la mesure de conductivité thermique.
(JA) 熱伝導率の測定対象物に接するように配置された熱発生源と、熱発生源に接するように配置された熱抵抗材と、熱発生源から熱が流れることによって発生する熱抵抗材の2点間の温度差に起因する電圧値を測定する、少なくとも1対の示差熱電対と、示差熱電対の出力電圧の時間変化率を算出し、算出した時間変化率に基づいて、測定対象物の熱伝導率を算出する計算装置と、を備える。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)