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1. (WO2018099836) PLANARIZING COATING-FORMING COMPOSITION AND METHODS FOR MANUFACTURING PLANARIZING COATING AND DEVICE USING THE SAME
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Pub. No.:    WO/2018/099836    International Application No.:    PCT/EP2017/080442
Publication Date: 07.06.2018 International Filing Date: 27.11.2017
IPC:
C07D 311/82 (2006.01), C07D 311/96 (2006.01), G03F 7/09 (2006.01)
Applicants: AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.A.R.L. [LU/LU]; 46 Place Guillaume II 1648 Luxembourg (LU)
Inventors: HAMA, Yusuke; (JP).
YANAGITA, Hiroshi; (JP).
ISHII, Maki; (JP).
NOYA, Go; (JP)
Agent: B2B PATENTS; c/o Merck Patent GmbH 64271 Darmstadt (DE)
Priority Data:
2016-233614 30.11.2016 JP
Title (EN) PLANARIZING COATING-FORMING COMPOSITION AND METHODS FOR MANUFACTURING PLANARIZING COATING AND DEVICE USING THE SAME
(FR) COMPOSITION DE FORMATION DE REVÊTEMENT DE PLANARISATION, PROCÉDÉS DE FABRICATION DE REVÊTEMENT DE PLANARISATION ET DISPOSITIF L'UTILISANT
Abstract: front page image
(EN)An object is to provide a planarizing coating-forming composition having high etching resistance and good gap filling property. Another object is to provide a method for manufacturing a device using the planarizing coating-forming composition. Provided are: a planarizing coating-forming composition comprising a specific monomer (I) and a specific organic solvent (II); a method for manufacturing a planarizing coating using the planarizing coating- forming composition; and a method for manufacturing a device using the planarizing coating-forming composition.
(FR)L'objectif de la présente invention est de fournir une composition de formation de revêtement de planarisation ayant une résistance élevée à la gravure et une bonne propriété de remplissage d'espace. L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un dispositif à l'aide de la composition de formation de revêtement de planarisation. L'invention concerne : une composition de formation de revêtement de planarisation comprenant un monomère spécifique (I) et un solvant organique spécifique (II) ; un procédé de fabrication d'un revêtement de planarisation utilisant la composition de formation de revêtement de planarisation ; et un procédé de fabrication d'un dispositif à l'aide de la composition de formation de revêtement de planarisation.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)