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1. (WO2018099742) MODEL FOR ESTIMATING STOCHASTIC VARIATION
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Pub. No.:    WO/2018/099742    International Application No.:    PCT/EP2017/079683
Publication Date: 07.06.2018 International Filing Date: 17.11.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: HANSEN, Steven, George; (US)
Agent: ASML Netherlands B.V.; (NL)
Priority Data:
62/429,253 02.12.2016 US
Title (EN) MODEL FOR ESTIMATING STOCHASTIC VARIATION
(FR) MODÈLE D'ESTIMATION DE VARIATION STOCHASTIQUE
Abstract: front page image
(EN)A method including: obtaining a resist process dose sensitivity value for a patterning process; applying the resist process dose sensitivity value to a stochastic model providing values of a stochastic variable as a function of resist process dose sensitivity to obtain a value of the stochastic variable; and designing or modifying a parameter of the patterning process based on the stochastic variable value.
(FR)L'invention concerne un procédé consistant à : obtenir une valeur de sensibilité de dose de traitement de réserve d'un procédé de formation de motifs ; appliquer la valeur de sensibilité de dose de traitement de réserve à un modèle stochastique fournissant des valeurs d'une variable stochastique en fonction de la sensibilité de dose de traitement de réserve pour obtenir une valeur de la variable stochastique ; et concevoir ou modifier un paramètre du procédé de formation de motifs sur la base de la valeur de variable stochastique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)