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1. (WO2018099332) PLANETARY ROTARY SHELF DEVICE FOR NANO-COATING APPARATUS
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Pub. No.: WO/2018/099332 International Application No.: PCT/CN2017/112918
Publication Date: 07.06.2018 International Filing Date: 24.11.2017
IPC:
C23C 16/458 (2006.01)
Applicants: JIANGSU FAVORED NANOTECHNOLOGY CO., LTD.[CN/CN]; Donghuan Rd. Yuqi Industrial Park Wuxi, Jiangsu 214183, CN
Inventors: ZONG, Jian; CN
Priority Data:
201611076982830.11.2016CN
Title (EN) PLANETARY ROTARY SHELF DEVICE FOR NANO-COATING APPARATUS
(FR) DISPOSITIF À ÉTAGÈRE ROTATIVE PLANÉTAIRE POUR APPAREIL DE NANO-REVÊTEMENT
(ZH) 一种纳米镀膜设备行星回转货架装置
Abstract: front page image
(EN) Disclosed is a planetary rotary shelf device for a nano-coating apparatus, belonging to the technical field of vacuum coating. In the device, an air extraction opening (2) is connected to the top of a chamber (3), a hollow pipe (10) is mounted in the position of a centre shaft of the chamber (3), an upper end of the hollow pipe (10) is connected to the air extraction opening (2), a rotating electric motor (9) is mounted at the bottom of the chamber (3), and a planetary rotary shelf is mounted on the rotating electric motor (9). In the planetary rotary shelf, a rotating shaft is connected to the rotating electric motor (9), the rotating shaft and the hollow pipe (10) are coaxial, a rotating shelf support (11) is fixedly arranged on the rotating shaft, at least two planetary rotating shafts (6) are symmetrically arranged on the rotating shelf support (11), at least one layer of pallet (8) is arranged on the planetary rotating shafts (6), and workpieces (7) to be treated are placed on the pallet (8). During coating, the planetary rotary shelf performs continuous dual-rotation of rotating around the shaft and rotating on its axis, thus preventing the uneven thickness of workpieces (7) in a fixed region due to the uneven density of a chemical monomer gas in each region. Moreover, the rotation of the planetary rotary shelf is also advantageous for fully mixing the chemical monomer gas entering the chamber (3) until even.
(FR) L'invention concerne un dispositif à étagère rotative planétaire pour un appareil de nano-revêtement, relevant du domaine technique du revêtement sous vide. Dans le dispositif, une ouverture d'extraction d'air (2) est reliée à la partie supérieure d'une chambre (3), un tuyau creux (10) est monté dans la position d'un arbre central de la chambre (3), une extrémité supérieure du tuyau creux (10) est reliée à l'ouverture d'extraction d'air (2), un moteur électrique rotatif (9) est monté dans le bas de la chambre (3) et une étagère rotative planétaire est montée sur le moteur électrique rotatif (9). Dans l'étagère rotative planétaire, un arbre rotatif est relié au moteur électrique rotatif (9), l'arbre rotatif et le tuyau creux (10) sont coaxiaux, un support d'étagère rotative (11) est disposé de manière fixe sur l'arbre rotatif, au moins deux arbres rotatifs planétaires (6) sont disposés symétriquement sur le support d'étagère rotative (11), au moins une couche de palette (8) est disposée sur les arbres rotatifs planétaires (6) et des pièces (7) à traiter sont placées sur la palette (8). Pendant le revêtement, l'étagère rotative planétaire effectue une double rotation continue consistant en une rotation autour de l'arbre et en une rotation sur son axe, évitant ainsi que l'épaisseur soit irrégulière sur les pièces (7) dans une région donnée en raison des variations de densité d'un gaz monomère chimique dans chaque région. La rotation de l'étagère rotative planétaire est également avantageuse pour mélanger complètement le gaz monomère chimique entrant dans la chambre (3) jusqu'à ce qu'il soit homogène.
(ZH) 一种纳米镀膜设备行星回转货架装置,属于真空镀膜技术领域。该装置中,腔室(3)顶部连接抽气口(2),腔室(3)中心轴位置安装有中空管(10),中空管(10)上端连接到抽气口(2),腔室(3)底部安装有旋转电机(9),旋转电机(9)上安装有行星回转货架;行星回转货架中,旋转轴与旋转电机(9)连接,旋转轴与中空管(10)同轴,旋转轴上固定设置旋转置物架(11),旋转置物架(11)上对称设置有至少两根行星旋转轴(6),行星旋转轴(6)上设置至少一层置物台(8),置物台(8)上放置待处理的工件(7)。镀膜过程中行星回转货架公转和自转持续双重旋转,避免出现因各区域化学单体气体密度不均匀造成固定区域的工件(7)涂层厚度不均匀现象。同时,行星回转货架转动也有利于将进入腔室(3)内的化学单体气体充分混合均匀。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)