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1. (WO2018089708) ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING LOAD PORT APPARATUS, SYSTEMS, AND METHODS
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Pub. No.: WO/2018/089708 International Application No.: PCT/US2017/060962
Publication Date: 17.05.2018 International Filing Date: 09.11.2017
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
[IPC code unknown for H01L 21/677]
Applicants:
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventors:
BLAHNIK, David T.; US
REUTER, Paul B.; US
BONECUTTER, Luke W.; US
BAUMGARTEN, Douglas B.; US
Agent:
DUGAN, Brian M.; US
DUGAN, Valerie G.; US
WAYLAND, Randall S.; US
TUMA, Garry J.; US
TOSTADO, Paula; US
WILSON, James C.; US
GHEORGHIU, Anca; US
KWONG, Raymond Kam-on; US
DAO, Mimi-Diemmy; US
CHOI, Changhoon; US
FABER, Scott; US
HWANG, David; US
MIZUMOTO, Edmund; US
BALUN, Matthew; US
Priority Data:
15/348,94710.11.2016US
Title (EN) ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING LOAD PORT APPARATUS, SYSTEMS, AND METHODS
(FR) APPAREIL, SYSTÈMES ET PROCÉDÉS DE PORT DE CHARGE DE FABRICATION DE DISPOSITIF ÉLECTRONIQUE
Abstract:
(EN) An electronic device manufacturing system includes a factory interface that has a load port. The load port may include a panel having an opening therein and a carrier door opener that seals the opening when the door is closed. The carrier door opener may have a groove along an outer portion of the door. The groove may have a cross-sectional shape of a triangular prism frustum. A hollow O-ring may be seated in the groove and is configured to engage the panel when the carrier door opener is closed against the panel. Methods of assembling a factory interface for an electronic device manufacturing system are also provided, as are other aspects.
(FR) L'invention concerne un système de fabrication de dispositif électronique comprenant une interface d'usine qui a un port de charge. Le port de charge peut comprendre un panneau ayant une ouverture à l'intérieur de celui-ci et un dispositif d'ouverture de porte de support qui scelle l'ouverture lorsque la porte est fermée. Le dispositif d'ouverture de porte de support peut avoir une rainure le long d'une partie externe de la porte. La rainure peut avoir une forme de section transversale d'un tronc de prisme triangulaire. Un joint torique creux peut être logé dans la rainure et est configuré pour venir en prise avec le panneau lorsque le dispositif d'ouverture de porte de support est fermé sur le panneau. L'invention concerne également des procédés d'assemblage d'interface d'usine pour un système de fabrication de dispositif électronique, ainsi que d'autres aspects.
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Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
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European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)