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1. (WO2018089698) SYSTEMS, APPARATUS, AND METHODS FOR AN IMPROVED LOAD PORT
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Pub. No.:    WO/2018/089698    International Application No.:    PCT/US2017/060949
Publication Date: 17.05.2018 International Filing Date: 09.11.2017
IPC:
H01L 21/677 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: BONECUTTER, Luke W.; (US).
BLAHNIK, David T.; (US).
REUTER, Paul B.; (US)
Agent: DUGAN, Brian M.; (US).
DUGAN, Valerie G.; (US).
WAYLAND, Randall S.; (US).
TUMA, Garry J.; (US).
TOSTADO, Paula; (US).
WILSON, James C.; (US).
GHEORGHIU, Anca; (US).
KWONG, Raymond Kam-on; (US).
DAO, Mimi-Diemmy; (US).
CHOI, Changhoon; (US).
FABER, Scott; (US).
HWANG, David; (US).
MIZUMOTO, Edmund; (US).
BALUN, Matthew; (US)
Priority Data:
15/348,967 10.11.2016 US
Title (EN) SYSTEMS, APPARATUS, AND METHODS FOR AN IMPROVED LOAD PORT
(FR) SYSTÈMES, APPAREIL ET PROCÉDÉS DESTINÉS À UN PORT DE CHARGE AMÉLIORÉ
Abstract: front page image
(EN)Embodiments provide systems, apparatus, and methods for an improved load port that includes a frame supporting a dock and a carrier opener; an elevator operable to raise and lower the carrier opener; an isolation compartment within which the elevator is operable to move, the isolation compartment including a volume isolated from a volume of an equipment front end module (EFEM); and a purge supply within the isolation compartment operable to purge the isolation compartment of reactive gas trapped within the isolation compartment. Numerous additional aspects are disclosed.
(FR)Des modes de réalisation concernent des systèmes, un appareil et des procédés pour un port de charge amélioré qui comprend un cadre supportant une station d'accueil et un dispositif d'ouverture de support; un ascenseur ayant pour fonction de lever et d'abaisser le dispositif d'ouverture de support; un compartiment d'isolation à l'intérieur duquel l'ascenseur a pour fonction de se déplacer, le compartiment d'isolation comprenant un volume isolé à partir d'un volume d'un module frontal d'équipement (EFEM); et une alimentation de purge à l'intérieur du compartiment d'isolation ayant pour fonction de purger le compartiment d'isolation du gaz réactif piégé à l'intérieur du compartiment d'isolation. De nombreux aspects supplémentaires sont décrits.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)