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1. (WO2018089177) COMPENSATING FOR A PHYSICAL EFFECT IN AN OPTICAL SYSTEM TECHNICAL FIELD
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Pub. No.:    WO/2018/089177    International Application No.:    PCT/US2017/056870
Publication Date: 17.05.2018 International Filing Date: 17.10.2017
IPC:
G01J 1/58 (2006.01), G01B 9/02 (2006.01), G01B 7/12 (2006.01), G01N 21/27 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500AH Veldhoven (NL)
Inventors: RAFAC, Robert Jay; (US)
Agent: NGUYEN, Joseph A.; (US)
Priority Data:
15/349,600 11.11.2016 US
Title (EN) COMPENSATING FOR A PHYSICAL EFFECT IN AN OPTICAL SYSTEM TECHNICAL FIELD
(FR) COMPENSATION D'UN EFFET PHYSIQUE DANS UN DOMAINE TECHNIQUE DE SYSTÈME OPTIQUE
Abstract: front page image
(EN)A wavefront of a light beam that exits an acousto-optic material is estimated; a control signal for an acousto-optic system that includes the acousto-optic material is generated, the control signal being based on the estimated wavefront of the light beam; and the control signal is applied to the acoasio-opiic system to generate a frequency-chirped acoustic wave that propagates in the acousto-optic material, the frequency-chirped acoustic wave forming a transient diffractive element in the acousto-optic material, an interaction between the transient diffractive element and the light beam adjusting the wavefront of the light beam to compensate for a distortion of the wavefront of the light beam, the distortion of the wavefront being at least partially caused by a physical effect in the acousto-optic material.
(FR)Selon l'invention, un front d'onde d'un faisceau lumineux qui sort d'un matériau acousto-optique est estimé ; un signal de commande d'un système acousto-optique qui comprend le matériau acousto-optique est généré, le signal de commande étant basé sur le front d'onde estimé du faisceau lumineux ; et le signal de commande est appliqué au système acousto-optique pour générer une onde acoustique à fréquence comprimée qui se propage dans le matériau acousto-optique, l'onde acoustique à fréquence comprimée formant un élément diffractif transitoire dans le matériau acousto-optique, une interaction entre l'élément diffractif transitoire et le faisceau lumineux ajustant le front d'onde du faisceau lumineux de façon à compenser une distorsion du front d'onde du faisceau lumineux, la distorsion du front d'onde étant au moins partiellement provoquée par un effet physique dans le matériau acousto-optique.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)