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1. (WO2018089161) PROCESSING CHAMBER HARDWARE FAULT DETECTION USING SPECTRAL RADIO FREQUENCY ANALYSIS
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Pub. No.:    WO/2018/089161    International Application No.:    PCT/US2017/056200
Publication Date: 17.05.2018 International Filing Date: 11.10.2017
IPC:
H01L 21/02 (2006.01), H01J 37/32 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: GHANTASALA, Sathyendra K.; (US).
VENUGOPAL, Vijayakumar C.; (US).
DOH, Hyun-Ho; (US)
Agent: BERNADICOU, Michael A.; (US).
BRASK, Justin K.; (US)
Priority Data:
15/349,139 11.11.2016 US
Title (EN) PROCESSING CHAMBER HARDWARE FAULT DETECTION USING SPECTRAL RADIO FREQUENCY ANALYSIS
(FR) DÉTECTION DE DÉFAUT DE MATÉRIEL DE CHAMBRE DE TRAITEMENT À L'AIDE D'UNE ANALYSE DE RADIOFRÉQUENCE SPECTRALE
Abstract: front page image
(EN)A method of assigning faults to a processing chamber is described. Some embodiments include applying a radio frequency (RF) signal to a processing chamber to stimulate resonance in the chamber, measuring resonances of the applied RF signal in the chamber, extracting a fingerprint from the measured resonances, comparing the extracted fingerprint to a library of fingerprints, assigning a similarity index to combinations of the extracted fingerprint with at least one fingerprint in the fingerprint library, comparing each similarity index to a threshold, and if the similarity is greater than a threshold, then assigning a fault to the processing chamber using the library fingerprint.
(FR)L'invention concerne un procédé d'attribution de défauts à une chambre de traitement. Certains modes de réalisation consistent à appliquer un signal radiofréquence (RF) à une chambre de traitement pour stimuler la résonance dans la chambre, à mesurer les résonances du signal RF appliqué dans la chambre, à extraire une empreinte à partir des résonances mesurées, à comparer l'empreinte extraite à une bibliothèque d'empreintes digitales, à attribuer un indice de similarité à des combinaisons de l'empreinte digitale extraite avec au moins une empreinte digitale dans la bibliothèque d'empreintes digitales, à comparer chaque indice de similarité à un seuil, et si la similarité est supérieure à un seuil, à attribuer un défaut à la chambre de traitement à l'aide de l'empreinte digitale de la bibliothèque.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)