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1. (WO2018088901) METHOD OF MODIFYING A SURFACE OF A SAMPLE, AND A SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEM
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Pub. No.: WO/2018/088901 International Application No.: PCT/NL2017/050728
Publication Date: 17.05.2018 International Filing Date: 10.11.2017
IPC:
G01Q 60/34 (2010.01)
G PHYSICS
01
MEASURING; TESTING
Q
SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING-PROBE MICROSCOPY [SPM]
60
Particular types of SPM [Scanning-Probe Microscopy] or apparatus therefor; Essential components thereof
24
AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
32
AC mode
34
Tapping mode
Applicants:
NEDERLANDSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO [NL/NL]; Anna van Buerenplein 1 2595 DA 's-Gravenhage, NL
Inventors:
SADEGHIAN MARNANI, Hamed; NL
KEYVANI JANBAHAN, Aliasghar; NL
TAMER, Mehmet Selman; NL
MATUROVÁ, Klára; NL
Agent:
JANSEN, C.M.; V.O. P.O. Box 87930 2508 DH Den Haag, NL
Priority Data:
16198100.610.11.2016EP
Title (EN) METHOD OF MODIFYING A SURFACE OF A SAMPLE, AND A SCANNING PROBE MICROSCOPY SYSTEM
(FR) PROCÉDÉ DE MODIFICATION D'UNE SURFACE D'UN ÉCHANTILLON, ET SYSTÈME DE MICROSCOPIE À SONDE DE BALAYAGE
Abstract:
(EN) This document relates to a method and system for modifying a sample surface using a scanning probe microscopy system comprising a probe having a cantilever and a probe tip. The method comprises vibrating the probe; controlling a distance between the surface and the probe for tapping of the probe tip on the surface; and adjusting a tapping force of the probe tip on the surface during said tapping, so as to selectively modify the surface during the tapping. The probe is vibrated by employing a multi-frequency excitation comprising at least two frequencies for simultaneous imaging and modifying of the surface.
(FR) L'invention concerne un procédé et un système permettant de modifier une surface d'échantillon à l'aide d'un système de microscopie à sonde de balayage comprenant une sonde présentant un porte-à-faux et une pointe de sonde. Le procédé consiste à mettre la sonde en vibration ; à commander une distance entre la surface et la sonde en vue de tapoter la pointe de sonde sur la surface ; et à ajuster une force de tapotement de la pointe de sonde sur la surface pendant ledit tapotement, de manière à modifier sélectivement la surface pendant le tapotement. La sonde est mise en vibration par l'utilisation d'une excitation multifréquence comprenant au moins deux fréquences pour une imagerie et une modification simultanées de la surface.
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Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)