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1. (WO2018087895) LASER DEVICE AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION DEVICE
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Pub. No.: WO/2018/087895 International Application No.: PCT/JP2016/083595
Publication Date: 17.05.2018 International Filing Date: 11.11.2016
IPC:
H01S 3/10 (2006.01)
H ELECTRICITY
01
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
S
DEVICES USING STIMULATED EMISSION
3
Lasers, i.e. devices for generation, amplification, modulation, demodulation, or frequency-changing, using stimulated emission, of infra-red, visible, or ultra-violet waves
10
Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
Applicants:
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
Inventors:
庭野 素己 NIWANO, Motoki; JP
Agent:
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
Priority Data:
Title (EN) LASER DEVICE AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION DEVICE
(FR) DISPOSITIF LASER ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) レーザ装置および極端紫外光生成装置
Abstract:
(EN) [Problem] In a laser device in which pulsed laser light emitted from a master oscillator is passed through an optical shutter that opens by a high-voltage pulse being applied thereto, to align the timing of application of the high-voltage pulse with the timing of arrival of the pulsed laser light at the optical shutter. [Solution] A laser device comprises: a master oscillator (100) which outputs pulsed laser light (L) on the basis of a light-emission trigger signal (S21); a delay circuit (153) which generates a switching signal (S10) after a predetermined delay time from the reception of the light-emission trigger signal (S21); a high-voltage switch (304) which generates a high-voltage pulse on the basis of the switching signal (S10); an optical shutter (32k) which is positioned on an optical path of the pulsed laser light (L), and which is driven on the basis of the high-voltage pulse; and a high-voltage monitor (151) which detects the high-voltage pulse and transmits a high-voltage pulse detection signal (S6) to the delay circuit (153). The delay circuit (153) determines the delay time on the basis of the light-emission trigger signal (S21) and the high-voltage pulse detection signal (S6).
(FR) Le problème décrit par la présente invention est, dans un dispositif laser dans lequel une lumière laser pulsée émise par un oscillateur maître passe par un obturateur optique qui s'ouvre par l'application d'une impulsion haute tension, d'aligner la synchronisation d'application de l'impulsion haute tension avec la synchronisation d'arrivée de la lumière laser pulsée au niveau de l'obturateur optique. La solution selon l'invention porte sur un dispositif laser qui comprend : un oscillateur maître (100) qui délivre en sortie une lumière laser pulsée (L) sur la base d'un signal de déclenchement d'émission de lumière (S21); un circuit de retard (153) qui génère un signal de commutation (S10) après un temps de retard prédéterminé à partir de la réception du signal de déclenchement d'émission de lumière (S21); un commutateur haute tension (304) qui génère une impulsion haute tension sur la base du signal de commutation (S10); un obturateur optique (32k) qui est positionné sur un trajet optique de la lumière laser pulsée (L), et qui est entraîné sur la base de l'impulsion haute tension; et un moniteur haute tension (151) qui détecte l'impulsion haute tension et transmet un signal de détection d'impulsion haute tension (S6) au circuit de retard (153). Le circuit de retard (153) détermine le temps de retard sur la base du signal de déclenchement d'émission de lumière (S21) et du signal de détection d'impulsion haute tension (S6).
(JA) 【課題】マスターオシレータから発せられたパルスレーザ光を、高電圧パルスが印加されて開く光シャッタに通すレーザ装置において、高電圧パルスの印加タイミングを、光シャッタにパルスレーザ光が到達するタイミングと一致させる。 【解決手段】レーザ装置は、発光トリガ信号(S21)に基づいてパルスレーザ光(L)を出力するマスターオシレータ(100)、発光トリガ信号(S21)の受信時から所定の遅延時間を置いてスイッチング信号(S10)を生成する遅延回路(153)、スイッチング信号(S10)に基づいて高電圧パルスを生成する高電圧スイッチ(304)、パルスレーザ光(L)の光路上に位置し高電圧パルスに基づいて駆動される光シャッタ(32k)、および高電圧パルスを検出して高電圧パルス検知信号(S6)を遅延回路(153)に送信する高電圧モニタ(151)を含む。遅延回路(153)は、発光トリガ信号(S21)と高電圧パルス検知信号(S6)とに基づいて遅延時間を決定する。
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Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)