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1. (WO2018087593) ION IMPLANTER
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Pub. No.:    WO/2018/087593    International Application No.:    PCT/IB2017/001492
Publication Date: 17.05.2018 International Filing Date: 27.10.2017
IPC:
H01J 37/08 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01), H01J 37/05 (2006.01)
Applicants: NISSIN ION EQUIPMENT CO., LTD. [JP/JP]; 575, Kuze-Tonoshiro-cho Minami-ku, Kyoto 601-8205 (JP)
Inventors: HAHTO, Sami, K.; (US).
SACCO, George; (US)
Priority Data:
62/420,889 11.11.2016 US
Title (EN) ION IMPLANTER
(FR) IMPLANTEUR IONIQUE
Abstract: front page image
(EN)An ion implanter (200) is provided that includes an ion source (210) configured to generate an ion beam and an analyzer magnet (202) defining a chamber (204) having a magnetic field therein. The chamber provides a curved path between a first end and a second end of the chamber. The ion source is disposed within the chamber of the analyzer magnet adjacent to the first end. The analyzer magnet is configured to bend the ion beam from the ion source within the chamber along the curved path to spatially separate one or more ion species in the ion beam while the ion source is immersed in the magnetic field of the analyzer magnet.
(FR)Selon la présente invention, un implanteur ionique (200) comprend une source d'ions (210) configurée afin de générer un faisceau d'ions et un aimant d'analyseur (202) définissant une chambre (204) ayant un champ magnétique à l'intérieur de cette dernière. La chambre fournit un trajet incurvé entre une première extrémité et une seconde extrémité de la chambre. La source d'ions est disposée à l'intérieur de la chambre de l'aimant d'analyseur adjacente à la première extrémité. L'aimant d'analyseur est configuré pour courber le faisceau d'ions à partir de la source d'ions à l'intérieur de la chambre le long du trajet incurvé pour séparer spatialement une ou plusieurs espèces d'ions dans le faisceau d'ions tandis que la source d'ions est immergée dans le champ magnétique de l'aimant d'analyseur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)