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1. (WO2018087482) HINGED MICROELECTROMECHANICAL AND/OR NANOELECTROMECHANICAL DEVICE WITH OUT-OF-PLANE MOVEMENT
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Pub. No.: WO/2018/087482 International Application No.: PCT/FR2017/053062
Publication Date: 17.05.2018 International Filing Date: 09.11.2017
IPC:
B81B 3/00 (2006.01)
Applicants: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES[FR/FR]; Bat le Ponant 25 rue Leblanc 75015 Paris, FR
Inventors: JOET, Loïc; FR
BERTHELOT, Audrey; FR
Agent: GUERRE, Fabien; FR
Priority Data:
16 6091510.11.2016FR
Title (EN) HINGED MICROELECTROMECHANICAL AND/OR NANOELECTROMECHANICAL DEVICE WITH OUT-OF-PLANE MOVEMENT
(FR) DISPOSITIF MICROELECTROMECANIQUE ET/OU NANOELECTROMECANIQUE ARTICULÉ A DEPLACEMENT HORS-PLAN
Abstract: front page image
(EN) Hinged MEMS and/or NEMS device with out-of-plane movement including: a first portion (2), and a second portion (4) that is hinged so as to be able to rotate with respect to the first portion about an axis of rotation contained in a first mean plane of the device; a hinging element (8) that connects the first portion (2) and the second portion (4) and that is stressed flexurally; a sensing element that extends between the first portion (2) and the second portion (4) and that deforms during the movement of the second portion (4); and two slats (10) that extend perpendicularly to the mean plane of the hinge device and parallel to the axis of rotation (Y), the slats (10) being placed between the hinging element (8) and the sensing element and connecting the first portion (2) and the second portion (4) and being stressed torsionally during the movement of the second portion (4).
(FR) Dispositif MEMS et/ou NEMS articulé à déplacement hors-plan comportant une première partie (2) et une deuxième partie (4) articulée en rotation par rapport à la première partie autour d'un axe de rotation contenu dans un plan moyen du dispositif, un élément d'articulation (8) reliant la premier partie (2) et la deuxième partie (4) et sollicité en flexion, un élément sensible s'étendant entre la première partie (2) et la deuxième partie (4) et se déformant lors du déplacement de la deuxième partie (4), deux lames (10) s'étendant perpendiculairement au plan moyen du dispositif articulé et parallèlement à l'axe de rotation (Y), les lames (10) étant disposées entre l'élément d'articulation (8) et l'élément sensible et reliant à la première partie (2) et à la deuxième partie (4) et étant sollicitées en torsion lors du déplacement de la deuxième partie (4).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)