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1. (WO2018087326) COATING METHOD, COATING DEVICE AND COMPONENT
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Pub. No.:    WO/2018/087326    International Application No.:    PCT/EP2017/078947
Publication Date: 17.05.2018 International Filing Date: 10.11.2017
IPC:
C23C 14/04 (2006.01), C23C 14/12 (2006.01), C23C 14/24 (2006.01)
Applicants: EMDE, Thomas [DE/DE]; (DE)
Inventors: KOWALSKY, Wolfgang; (DE).
FRANKE, Sebastian; (DE).
MONTZKA, Sebastian; (DE).
SCHMIDT, Hans; (DE).
NOWAK, Christine; (DE).
WOLF, Lisa; (DE).
FÜNDLING, Sönke; (DE)
Agent: FRITZ & BRANDENBURG PATENTANWÄLTE; Stolberger Straße 368 50933 Köln (DE)
Priority Data:
10 2016 121 786.7 14.11.2016 DE
Title (DE) BESCHICHTUNGSVERFAHREN, BESCHICHTUNGSEINRICHTUNG UND BAUTEIL
(EN) COATING METHOD, COATING DEVICE AND COMPONENT
(FR) PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT, DISPOSITIF DE REVÊTEMENT ET PIÈCE
Abstract: front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung eines Substrats (1) mit einem Beschichtungsmaterial (8), wobei das Beschichtungsmaterial (8) von einer Materialabgabeeinrichtung (7) an einer Materialabgabestelle (11) abgegeben wird, einen Transportbereich (5) von der Materialabgabestelle (11) zu einer zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) zurücklegt und sich an der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) abscheidet, mit folgenden Schritten: a) Eliminieren von für den Beschichtungsprozess unerwünschten gasförmigen Medien (34) zumindest im Bereich der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1), der Materialabgabestelle (11) und des dazwischen liegenden Transportbereichs (5), b) Einbringen eines für den Beschichtungsprozess gewünschten gasförmigen Mediums (4, 33) in den Transportbereich (5) mit einem Druck im Bereich von 10-5 mbar bis 10-1 mbar, c) Abgeben des Beschichtungsmaterials (8) von der Materialabgabestelle (11), während sich das gewünschte gasförmige Medium (4, 33) im Transportbereich (5) in dem im Merkmal b) angegebenen Druckbereich befindet, wobei das Beschichtungsmaterial (8) den Transportbereich (5) zu der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) zurücklegt und sich an der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Substrats (1) abscheidet, ohne dass das gewünschte gasförmige Medium (4, 33) ein Trägergas für das Beschichtungsmaterial (8) bildet. Die Erfindung betrifft ferner eine Beschichtungseinrichtung zur Beschichtung eines Substrats mit einem Beschichtungsmaterial gemäß Anspruch 14 sowie ein Bauteil mit einem Substrat.
(EN)The invention relates to a method for coating a substrate (1) with a coating material (8), wherein the coating material (8) is discharged from a material discharge device (7) at a material discharge point (11), travels across a transport region (5) from the material discharge point (11) to a surface (2) of the substrate (1) to be coated and is deposited on the surface (2) of the substrate (1) to be coated, comprising the following steps: a) eliminating gaseous media (34) that are not desired for the coating process at least in the region of the surface (2) of the substrate (1) to be coated, the material discharge point (11) and the transport region (5) therebetween; b) introducing a gaseous medium (4, 33) that is desired for the coating process into the transport region (5) with a pressure in the range of 10-5 mbar to 10-1 mbar; c) discharging the coating material (8) from the material discharge point (11) while the desired gaseous medium (4, 33) is located in the transport region (5) in the pressure range specified in feature b), wherein the coating material (8) travels across the transport region (5) to the surface (2) of the substrate (1) to be coated and is deposited on the surface (2) of the substrate (1) to be coated, without the desired gaseous medium (4, 33) forming a carrier gas for the coating material (8). The invention also relates to a coating device for coating a substrate with a coating material according to claim 14, as well as a component having a substrate.
(FR)L'invention concerne un procédé de revêtement d'un substrat (1) au moyen d'un matériau de revêtement (8). Le matériau de revêtement (8) est distribué par un dispositif (7) de distribution de matériau en un point (11) de distribution de matériau, parcourt une zone de transport (5) allant du point (11) de distribution de matériau à une surface (2) à revêtir du substrat (1) et se dépose sur la surface (2) à revêtir du substrat (1). Le procédé comprend les étapes suivantes consistant à : a) éliminer les milieux gazeux (34) non souhaités pour le processus de revêtement au moins dans la zone de la surface (2) à revêtir du substrat (1), du point (11) de distribution de matériau et de la zone de transport (5) située entre ceux-ci, ; b) introduire un milieu gazeux (4, 33) souhaité pour le processus de revêtement dans la zone de transport (5) à une pression dans la plage de 10-5 mbar à 10-1 mbar ; c) distribuer le matériau de revêtement (8) à partir du point (11) de distribution de matériau, pendant que le milieu gazeux (4, 33) souhaité se situe dans la zone de transport (5) dans la plage de pressions indiquée à la caractéristique b), le matériau de revêtement (8) parcourant la zone de transport (5) en direction de la surface (2) à revêtir du substrat (1) et se déposant sur la surface (2) à revêtir du substrat (1), sans que le matériau gazeux (4, 33) souhaité forme un gaz porteur pour le matériau de revêtement (8). L'invention concerne en outre un dispositif de revêtement destiné à revêtir un substrat d'un matériau de revêtement selon la revendication 14, ainsi qu'une pièce comprenant un substrat.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: German (DE)
Filing Language: German (DE)