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1. (WO2018086853) APPARATUS FOR COMBINED STEM AND EDS TOMOGRAPHY
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Pub. No.: WO/2018/086853 International Application No.: PCT/EP2017/077016
Publication Date: 17.05.2018 International Filing Date: 23.10.2017
IPC:
G01N 23/225
Applicants: IMEC VZW[BE/BE]; Kapeldreef 75 3001 Leuven, BE
Inventors: BENDER, Hugo; BE
Agent: PATENT DEPARTMENT IMEC; Kapeldreef 75 3001 Leuven, BE
Priority Data:
16197907.509.11.2016EP
Title (EN) APPARATUS FOR COMBINED STEM AND EDS TOMOGRAPHY
(FR) APPAREIL POUR TOMOGRAPHIE STEM ET EDS COMBINÉE
Abstract: front page image
(EN) The invention is related to an apparatus for tomographic analysis of a specimen (20) based on STEM images of the specimen, as well as for tomographic analysis of the chemical composition of the specimen based on X-ray detection by EDS detectors, the apparatus comprising an elongated specimen holder (21) that is rotatable about a longitudinal axis (101) and being configured for holding a pillar-shaped specimen (20) at the end of the holder, with said longitudinal axis (101) being positioned in a sample plane (22), the sample plane being perpendicular the beam direction (100), at least two EDS detectors (16,17), each SDD having a detecting surface (16',17') oriented perpendicularly to the sample plane (22) and intersecting with said sample plane, and wherein the two EDS detectors (16,17) are positioned on opposite lateral sides of the specimen (20).
(FR) L'invention concerne un appareil d'analyse tomographique d'un échantillon (20) sur la base d'images STEM de l'échantillon, ainsi que pour l'analyse tomographique de la composition chimique de l'échantillon sur la base d'une détection par rayons X par des détecteurs EDS, l'appareil comprenant un porte-échantillon allongé (21) qui peut tourner autour d'un axe longitudinal (101) et qui est configuré pour maintenir un échantillon en forme de pilier (20) à l'extrémité du support, ledit axe longitudinal (101) étant positionné dans un plan d'échantillon (22), le plan d'échantillon étant perpendiculaire à la direction du faisceau (100), au moins deux détecteurs EDS (16, 17), chaque SDD ayant une surface de détection (16', 17') orientée perpendiculairement au plan d'échantillon (22) et croisant ledit plan d'échantillon, et les deux détecteurs EDS (16, 17) étant positionnés sur des côtés latéraux opposés de l'échantillon (20).
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)