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1. (WO2018086852) MEASUREMENT SYSTEM, LITHOGRAPHIC SYSTEM, AND METHOD OF MEASURING A TARGET
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Pub. No.:    WO/2018/086852    International Application No.:    PCT/EP2017/077013
Publication Date: 17.05.2018 International Filing Date: 23.10.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01), G03F 9/00 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventors: TUKKER, Teunis, Willem; (NL).
VAN DER ZOUW, Gerbrand; (NL).
SINGH, Amandev; (NL)
Agent: BROEKEN, Petrus; (NL)
Priority Data:
16198200.4 10.11.2016 EP
Title (EN) MEASUREMENT SYSTEM, LITHOGRAPHIC SYSTEM, AND METHOD OF MEASURING A TARGET
(FR) SYSTÈME DE MESURE, SYSTÈME LITHOGRAPHIQUE, ET PROCÉDÉ DE MESURE D'UNE CIBLE
Abstract: front page image
(EN)A measurement system is disclosed in which a first optical system splits an input radiation beam into a plurality of components. A modulator receives the plurality of components and applies a modulation to at least one of the components independently of at least one other of the components. A second optical system illuminates a target with the plurality of components and directs radiation scattered by the target to a detection system. The detection system distinguishes between each of one or more components, or between each of one or more groups of components, of the radiation directed to the detection system based on the modulation applied to each component or each group of components by the modulator.
(FR)La présente invention se rapporte à un système de mesure dans lequel un premier système optique sépare un faisceau de rayonnement d'entrée en une pluralité de composantes. Un modulateur reçoit la pluralité de composantes et applique une modulation à au minimum une des composantes indépendamment d'au moins une autre des composantes. Un second système optique éclaire une cible avec la pluralité de composantes et dirige un rayonnement diffusé par la cible vers un système de détection. Le système de détection fait la distinction entre chacune des composantes, ou entre chacun des groupes de composantes, du rayonnement dirigé vers le système de détection sur la base de la modulation appliquée à chaque composante ou à chaque groupe de composantes par le modulateur.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)