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1. (WO2018083989) SHOWER HEAD AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
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Pub. No.:    WO/2018/083989    International Application No.:    PCT/JP2017/037782
Publication Date: 11.05.2018 International Filing Date: 19.10.2017
IPC:
C23C 16/455 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
Applicants: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-1, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1076325 (JP)
Inventors: FUJIBAYASHI, Takashi; (JP).
YOSHII, Naoki; (JP).
IWABUCHI, Katsuhiko; (JP)
Agent: SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013 (JP)
Priority Data:
2016-215402 02.11.2016 JP
Title (EN) SHOWER HEAD AND SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
(FR) POMME DE DOUCHE ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) シャワーヘッド及び基板処理装置
Abstract: front page image
(EN)This shower head has: a plurality of layered members stacked in a plurality of steps, each of the layered members having a plurality of buffer spaces that individually receive a supply of a processing gas; a plurality of jetting pipes connected to each of the layered members in the buffer spaces of said layered members, the plurality of jetting pipes passing though a lower-step-side layered member, which is a layered member disposed on the lower-step side of the layered members, when the lower-step-side layered member is present, and jetting the processing gas supplied to the buffer spaces of the layered members; a heating member provided to each of the layered members, the heating member controlling the temperature of the buffer spaces of the layered members; a first thermal insulation member disposed between the plurality of layered members; and a second thermal insulation member covering the area surrounding those jetting pipes, of the plurality of jetting pipes, that pass through the lower-step-side layered member.
(FR)Cette invention concerne une pomme de douche, comprenant : une pluralité d'éléments en couches empilés en une pluralité d'étages, chacun des éléments en couches ayant une pluralité d'espaces-tampon qui reçoivent individuellement une charge en gaz de traitement ; une pluralité de tuyaux d'injection raccordés à chacun des éléments en couches dans les espaces-tampon desdits éléments en couches, la pluralité de tuyaux d'injection passant à travers un élément en couches côté étage inférieur, qui est un élément en couches disposé sur le côté étage inférieur des éléments en couches, lorsque l'élément en couches côté étage inférieur est présent, et injectant le gaz de traitement fourni aux espaces-tampon des éléments en couches ; un élément chauffant disposé sur chacun des éléments en couches, l'élément chauffant régulant la température des espaces-tampon des éléments en couches ; un premier élément d'isolation thermique disposé entre la pluralité d'éléments en couches ; et un second élément d'isolation thermique recouvrant la zone entourant ceux des tuyaux d'injection de la pluralité de tuyaux d'injection, qui passent à travers l'élément en couches côté étage inférieur.
(JA)シャワーヘッドは、多段に積層され、各々が複数の処理ガスの供給を個別に受けるバッファ空間を有する複数の層状部材と、層状部材毎に当該層状部材のバッファ空間に接続されて、当該層状部材の下段側に配置された他の層状部材である下段側層状部材が存在する場合に下段側層状部材を貫通し、層状部材のバッファ空間に供給される処理ガスを噴射する複数の噴射管と、層状部材毎に設けられ、当該層状部材のバッファ空間の温度を制御する加熱部材と、複数の層状部材の間に配置された第1の断熱部材と、複数の噴射管のうち下段側層状部材を貫通する噴射管の周囲を被覆する第2の断熱部材とを有する。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)