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1. (WO2018083914) PLATING TREATMENT TOOL AND PLATING TREATMENT DEVICE
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Pub. No.: WO/2018/083914 International Application No.: PCT/JP2017/034832
Publication Date: 11.05.2018 International Filing Date: 27.09.2017
IPC:
C23C 18/31 (2006.01) ,G11B 5/84 (2006.01)
Applicants: KOHAN KOGYO CO., LTD.[JP/JP]; 1394, Oaza Nishitoyoi, Kudamatsu-shi Yamaguchi 7440011, JP
Inventors: FUJII Toru; JP
SAMURA Maki; JP
NISHIZAKI Tsutomu; JP
SIIGI Masahiro; JP
YAMAMOTO Yasuo; JP
Agent: OHTA PATENT OFFICE; 356 New State Manor Bldg., 23-1, Yoyogi 2-chome, Shibuya-ku Tokyo 1510053, JP
Priority Data:
2016-21767607.11.2016JP
Title (EN) PLATING TREATMENT TOOL AND PLATING TREATMENT DEVICE
(FR) OUTIL ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE REVETEMENT METALLIQUE
(JA) めっき処理用治具及びめっき処理装置
Abstract: front page image
(EN) [Problem] to provide a plating treatment tool and a plating treatment device in which it is possible to suppress the occurrence of nodules even when the plating treatment tool rotates in a plating bath. [Solution] This plating treatment tool is used for immersing a disk-shaped substrate having a central hole in a plating liquid within a plating bath, wherein the plating treatment tool is characterized by including a support rod inserted through the central hole in the substrate, a restricting member provided with a rotation-suppressing mechanism that supports the support rod and suppresses rotation of the supported support rod, and a carousel to which the support rod is attached with the restricting member interposed therebetween.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de réaliser un outil et un dispositif de traitement de revêtement métallique dans lesquels il est possible de supprimer l'apparition de nodules même lorsque l'outil de traitement de revêtement métallique est en rotation dans un bain de revêtement métallique. La solution selon l'invention porte sur un outil de traitement de revêtement métallique qui est utilisé pour immerger un substrat en forme de disque pourvu d'un trou central dans un liquide d'un bain de revêtement métallique, l'outil de traitement de revêtement métallique étant caractérisé en ce qu'il comprend une tige de support insérée dans le trou central du substrat, un élément de limitation pourvu d'un mécanisme de suppression de rotation qui soutient la tige de support et supprime la rotation de cette dernière, et un carrousel auquel est fixée la tige de support, l'élément de limitation étant interposé entre le carrousel et la tige de support.
(JA) 【課題】めっき浴槽中でめっき処理用治具が回転してもノジュールの発生が抑制可能なめっき処理用治具およびめっき処理装置を提供する。 【解決手段】本発明のめっき処理用治具は、めっき浴槽内のめっき液中に、中心孔を有する円盤状の基板を浸漬させるためのめっき処理用治具であって、前記基板の中心孔へ挿通される支持ロッドと、前記支持ロッドを支持するとともに、前記支持した支持ロッドが自転することを抑制する自転抑制機構を備えた拘束部材と、前記拘束部材を介して前記支持ロッドが取り付けられるカローセルと、を含むことを特徴とする。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)