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1. (WO2018083312) DEVICE AND METHOD FOR MONITORING THE LEAK-TIGHTNESS OF A TRANSPORT ENCLOSURE FOR THE ATMOSPHERIC CONVEYANCE AND STORAGE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
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Pub. No.:    WO/2018/083312    International Application No.:    PCT/EP2017/078367
Publication Date: 11.05.2018 International Filing Date: 06.11.2017
IPC:
H01L 21/673 (2006.01), G01M 3/00 (2006.01)
Applicants: PFEIFFER VACUUM [FR/FR]; 98 Avenue de Brogny 74000 ANNECY (FR)
Inventors: BELLET, Bertrand; (FR).
BOUNOUAR, Julien; (FR).
CHAPEL, Nicolas; (FR)
Agent: CROONENBROEK, Thomas; (FR).
SOGAN, Gloria; (FR).
PERIAN, Priscilla; (FR)
Priority Data:
1660750 07.11.2016 FR
Title (EN) DEVICE AND METHOD FOR MONITORING THE LEAK-TIGHTNESS OF A TRANSPORT ENCLOSURE FOR THE ATMOSPHERIC CONVEYANCE AND STORAGE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATES
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE CONTRÔLE DE L'ÉTANCHÉITÉ D'UNE ENCEINTE DE TRANSPORT POUR LE CONVOYAGE ET LE STOCKAGE ATMOSPHÉRIQUE DE SUBSTRATS SEMI-CONDUCTEURS
Abstract: front page image
(EN)The invention relates to a device (1) for monitoring the leak-tightness of at least one transport enclosure (2) for the atmospheric conveyance and storage of semiconductor substrates (3), said transport enclosure (2) comprising a rigid envelope (4) having an opening (5), a removable door (6) that serves to close off the opening (5) and at least two ventilation ports (8, 9). The monitoring device (1) comprises at least one interface (20) that is configured to couple to the transport enclosure (2), the interface (20) comprising: at least two connection heads (23, 24), at least one connection head being formed by a measurement head (23) configured to engage in a ventilation port (8) of the transport enclosure (2), the measurement head (23) comprising: a projecting tip (29), opening via at least one orifice (30), and a peripheral sealing element (31) surrounding the tip (29), the peripheral sealing element (31) being arranged upstream of the at least one orifice (30), all of the ventilation ports (8, 9) of the transport enclosure (2) being coupled to a connection head (23, 24) of the interface (20). The present invention also relates to a method for monitoring the leak-tightness of at least one transport enclosure.
(FR)L'invention concerne un dispositif de contrôle (1) de l'étanchéité d'au moins une enceinte de transport (2) pour le convoyage et le stockage atmosphérique de substrats semi-conducteurs (3), ladite enceinte de transport (2) comprenant une enveloppe (4) rigide présentant une ouverture (5), une porte amovible (6) permettant d'obturer l'ouverture (5) et au moins deux ports de ventilation (8, 9). Le dispositif de contrôle (1) comporte au moins une interface (20) configurée pour s'accoupler à l'enceinte de transport (2), l'interface (20) comprenant : au moins deux têtes de connexion (23, 24), au moins une tête de connexion étant formée par une tête de mesure (23) configurée pour s'engager dans un port de ventilation (8) de l'enceinte de transport (2), la tête de mesure (23) comprenant : un embout (29) saillant, débouchant par au moins un orifice (30), et un élément d'étanchéité périphérique (31) entourant l'embout (29), l'élément d'étanchéité périphérique (31) étant agencé en amont du au moins un orifice (30), tous les ports de ventilation (8, 9) de l'enceinte de transport (2) étant accouplés à une tête de connexion (23, 24) de l'interface (20). La présente invention concerne également un procédé de contrôle de l'étanchéité d'au moins une enceinte de transport.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: French (FR)
Filing Language: French (FR)