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1. (WO2018080744) FLEXIBLE EQUIPMENT FRONT END MODULE INTERFACES, ENVIRONMENTALLY-CONTROLLED EQUIPMENT FRONT END MODULES, AND ASSEMBLY METHODS
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Pub. No.:    WO/2018/080744    International Application No.:    PCT/US2017/054935
Publication Date: 03.05.2018 International Filing Date: 03.10.2017
IPC:
H01L 21/677 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01)
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventors: VINCENT, Joseph; (IN).
KUCHAR, Michael; (US).
HRUZEK, Dean C.; (US).
SOUNDARRAJAN, Vijayabaskar; (IN).
MADDHERLA, Pandu; (IN).
WYATT, Adam J.; (US).
MCANDREW, Robert M.; (US)
Agent: DUGAN, Brian M.; (US).
DUGAN, Valerie G.; (US).
TOSTADO, Paula; (US).
WILSON, James C.; (US).
GHEORGHIU, Anca; (US).
KWONG, Raymond Kam-on; (US).
DAO, Mimi-Diemmy; (US).
WAYLAND, Randall S.; (US).
CHOI, Changhoon; (US).
FABER, Scott; (US).
HWANG, David; (US).
TUMA, Garry; (US).
MIZUMOTO, Edmund; (US).
BALUN, Matthew; (US)
Priority Data:
15/336,279 27.10.2016 US
Title (EN) FLEXIBLE EQUIPMENT FRONT END MODULE INTERFACES, ENVIRONMENTALLY-CONTROLLED EQUIPMENT FRONT END MODULES, AND ASSEMBLY METHODS
(FR) INTERFACES DE MODULE FRONTAL D'ÉQUIPEMENT FLEXIBLE, MODULES FRONTAUX D'ÉQUIPEMENT À COMMANDES ENVIRONNEMENTALES, ET PROCÉDÉS D'ASSEMBLAGE
Abstract: front page image
(EN)An equipment front end module interface of an equipment front end module including environmental controls. The equipment front end module interface includes a first mounting member configured to couple to a load lock assembly, and a flexible seal coupled to the first mounting member. The flexible seal provides sealing between the equipment front end module and the load lock assembly and also accommodates axial and other misalignment between the load lock assembly and the equipment front end module during assembly. Equipment front end modules including the equipment front end module interface and methods of assembling a load lock assembly to the equipment front end module using the equipment front end module interface are provided, as are other aspects.
(FR)La présente invention concerne une interface de module frontal d'équipement d'un module frontal d'équipement qui comprend des commandes environnementales. L'interface de module frontal d'équipement comprend un premier élément de montage conçu pour s'accoupler à un ensemble de verrouillage de charge, et un joint flexible accouplé au premier élément de montage. Le joint flexible assure l'étanchéité entre le module frontal d'équipement et l'ensemble de verrouillage de charge et reçoit également un désalignement axial et un autre désalignement entre l'ensemble de verrouillage de charge et le module frontal d'équipement pendant l'assemblage. L'invention concerne également des modules frontaux d'équipement comprenant l'interface de module frontal d'équipement et des procédés d'assemblage d'un ensemble de verrouillage de charge au module frontal d'équipement au moyen de l'interface de module frontal d'équipement, ainsi que d'autres aspects.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)