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1. (WO2018079288) FLUID CONTROL DEVICE AND PRODUCT MANUFACTURING METHOD USING THE FLUID CONTROL DEVICE
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Pub. No.:    WO/2018/079288    International Application No.:    PCT/JP2017/037042
Publication Date: 03.05.2018 International Filing Date: 12.10.2017
IPC:
F16K 27/00 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01)
Applicants: FUJIKIN INCORPORATED [JP/JP]; 3-2, Itachibori 2-chome, Nishi-ku, Osaka-city Osaka 5500012 (JP)
Inventors: DOYA Hidehiro; (JP)
Agent: FUJIMOTO Kenji; (JP)
Priority Data:
2016-207603 24.10.2016 JP
Title (EN) FLUID CONTROL DEVICE AND PRODUCT MANUFACTURING METHOD USING THE FLUID CONTROL DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE COMMANDE DE FLUIDE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE PRODUIT UTILISANT LE DISPOSITIF DE COMMANDE DE FLUIDE
(JA) 流体制御装置およびこの流体制御装置を用いた製品製造方法
Abstract: front page image
(EN)[Problem] To provide a fluid control device which is further miniaturized and integrated without reducing the supply flow rate of a fluid. [Solution] This fluid control device comprises base blocks 10B, 10C and fluid devices 120, 130 arranged on the upper surfaces of the base blocks 10B, 10C, respectively. The base blocks 10B, 10C each have projecting tube portions 10p2, 10p1 projecting in the longitudinal direction. The projecting tube portions 10p2, 10p1 each communicate with a corresponding second flow passage 13d. The projecting tube portion 10p2 on the downstream end surface of the base block 10B and the projecting tube portion 10p1 on the upstream end surface of the base block 10C are air-tightly and liquid-tightly connected to each other by a welding material WL.
(FR)Le problème décrit par la présente invention est de produire un dispositif de commande de fluide qui est en outre miniaturisé et intégré sans réduire le débit d'apport d'un fluide. La solution selon l'invention porte sur un dispositif de commande de fluide qui comprend des blocs de base 10B, 10C et des dispositifs de fluide 120, 130 agencés sur les surfaces supérieures des blocs de base 10B, 10C, respectivement. Les blocs de base 10B, 10C ont chacun des portions de tube saillantes 10p2, 10p1 qui font saillie dans la direction longitudinale. Les portions de tube saillantes 10p2, 10p1 communiquent chacune avec un second passage d'écoulement 13d correspondant. La portion de tube saillante 10p2 sur la surface d'extrémité aval du bloc de base 10B et la portion de tube saillante 10p1 sur la surface d'extrémité amont du bloc de base 10C sont reliées entre elles de manière étanche à l'air et étanche aux liquides par un matériau de soudage WL.
(JA)【課題】流体の供給流量を減少させることなく、より一層の小型化、集積化された流体制御装置を提供することにある。 【解決手段】ベースブロック10B,10Cと、ベースブロック10B,10Cの上面にそれぞれ設置される流体用機器120,130と、を有し、ベースブロック10B,10Cの各々は、長手方向に突出する突出管部10p2,10p1を有し、突出管部10p2,10p1の各々は、対応する第2流路13dと連通しており、ベースブロック10Bの下流側端面の突出管部10p2とベースブロック10Cの上流側端面の突出管部10p1とは、気密又は液密に溶接材料WLにより接続されている。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)