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1. (WO2018078515) INTEGRATED THERMOELECTRIC GENERATOR AND RELATED METHOD OF FABRICATION
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Pub. No.:    WO/2018/078515    International Application No.:    PCT/IB2017/056579
Publication Date: 03.05.2018 International Filing Date: 24.10.2017
IPC:
H01L 27/16 (2006.01), H01L 35/34 (2006.01)
Applicants: CONSORZIO DELTA TI RESEARCH [IT/IT]; Via Vittor Pisani 16 20124 Milano MI (IT)
Inventors: SPAZIANI, Fabio; (IT).
IULIANELLA, Enrico; (IT).
NARDUCCI, Dario; (IT).
MASCOLO, Danilo; (IT).
BUOSCIOLO, Antonietta; (IT).
LATESSA, Giuseppe; (IT).
GISON, Italo; (IT)
Agent: BARBARO, Gaetano; (IT)
Priority Data:
102016000109345 28.10.2016 IT
Title (EN) INTEGRATED THERMOELECTRIC GENERATOR AND RELATED METHOD OF FABRICATION
(FR) GÉNÉRATEUR THERMOÉLECTRIQUE INTÉGRÉ ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ
Abstract: front page image
(EN)An integrated thermoelectric generator of out-of-plane heat flux configuration can be fabricated with a process fully compatible with standard front-end CMOS or BiCMOS technologies, if portions of the planar electrically non conductive cover layer suspended over the valleys have sufficiently large through holes to let isotropic etching solutions or etching plasma pass therethrough, across the thickness of the non conductive cover layer (9), so as to realize void spaces. The generator further comprises a top capping layer (11) deposited onto a free surface, oriented in an opposite direction in respect to said void spaces, of said planar electrically non conductive cover layer (9) so as to occlude the through holes (10) of the non conductive cover layer (9). A method of fabricating an integrated thermoelectric generator of out-of-plane heat flux configuration is also disclosed.
(FR)L'invention concerne un générateur thermoélectrique intégré de configuration de flux thermique hors plan qui peut être fabriqué avec un procédé entièrement compatible avec des technologies CMOS ou BiCMOS frontales standard si des parties de la couche de couverture plane non conductrice électriquement, qui sont en suspension au-dessus des vallées, présentent des trous de traversée suffisamment grands pour permettre à des solutions de gravure isotropes ou à un plasma de gravure de les traverser sur toute l’épaisseur de la couche de couverture non conductrice (9), afin de réaliser des espaces vides. Le générateur comprend en outre une couche de recouvrement supérieure (11) déposée sur une surface libre, orientée dans une direction opposée à celle desdits espaces vides, de ladite couche de couverture plane non conductrice électriquement (9) de manière à occlure les trous de traversée (10) de la couche de couverture non conductrice (9). L’invention concerne également un procédé de fabrication d’un générateur thermoélectrique intégré de configuration de flux thermique hors plan.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)