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1. (WO2018077605) APPARATUS TO MOVE AN OBJECT IN AND/OR OUT OF A HOUSING
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Pub. No.: WO/2018/077605 International Application No.: PCT/EP2017/075679
Publication Date: 03.05.2018 International Filing Date: 09.10.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors: VAN BAKEL, Marc, Cornelis, Pieter; NL
VAN OYEN, Gabriëlle; NL
Agent: KETTING, Alfred; NL
Priority Data:
16195201.524.10.2016EP
Title (EN) APPARATUS TO MOVE AN OBJECT IN AND/OR OUT OF A HOUSING
(FR) APPAREIL POUR DÉPLACER UN OBJET DANS ET/OU HORS D'UN BOÎTIER
Abstract: front page image
(EN) An apparatus (900) is provided for moving an object (300) in and/or out of a housing, for example a support structure for a mask out of a housing of a lithographic apparatus. The apparatus comprises a first guiding mechanism (400) moveable in a first direction and which is rotatably connectable to a first part of the object, and a second guiding mechanism (500) moveable in a second direction and which is rotatably connectable to a second part of the object, wherein the second part is different from the first part and the second direction is different from the first direction. The rotatable connections define a rotation around an axis which extends in a third direction which is substantially perpendicular to the first direction and the second direction.
(FR) La présente invention se rapporte à un appareil (900) qui permet de déplacer un objet (300) dans et/ou hors d'un boîtier, par exemple une structure de support pour un masque hors d'un boîtier d'un appareil lithographique. L'appareil comprend un premier mécanisme de guidage (400) qui est mobile dans une première direction et qui peut être relié rotatif à une première partie de l'objet, et un second mécanisme de guidage (500) qui est mobile dans une deuxième direction et qui peut être relié rotatif à une seconde partie de l'objet, la seconde partie étant différente de la première partie et la deuxième direction étant différente de la première direction. Les liaisons rotatives définissent une rotation autour d'un axe qui s'étend dans une troisième direction sensiblement perpendiculaire à la première direction et à la deuxième direction.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)