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1. (WO2018077587) LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD
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Pub. No.: WO/2018/077587 International Application No.: PCT/EP2017/075382
Publication Date: 03.05.2018 International Filing Date: 05.10.2017
IPC:
G03F 7/20 (2006.01) ,G03F 9/00 (2006.01)
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.[NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventors: BASELMANS, Johannes, Jacobus, Matheus; NL
Agent: KETTING, Alfred; NL
Priority Data:
16195245.224.10.2016EP
Title (EN) LITHOGRAPHIC APPARATUS AND METHOD
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉ LITHOGRAPHIQUE
Abstract: front page image
(EN) A scanning exposure of a plurality of target regions on a substrate is performed such that an image of each of a plurality of markers is formed on each of the plurality of target regions. Each of the plurality of markers is of a form such that a property of the image of the marker is dependent on the contrast in a known manner. During the scanning exposure the substrate is moved in a scanning direction and at least one of: a difference between a rotation angle of the substrate and a rotation angle of a plane of best focus, about a first axis perpendicular to the scanning direction, a difference between a rotation angle of the substrate and a rotation angle of the plane of best focus about a second axis perpendicular to the first axis and perpendicular to the scanning direction, and a speed of the substrate in the scanning direction relative to the plane of best focus, is selected to be different for the scanning exposures of at least two of the plurality of target regions. Next the property of the image of each of the plurality of markers is determined.
(FR) Selon l'invention une exposition par balayage d'une pluralité de régions cibles sur un substrat est effectuée de telle sorte qu'une image de chacun d'une pluralité de marqueurs est formée sur chacune de la pluralité de régions cibles. Chaque marqueur de la pluralité de marqueurs est d'une forme telle qu'une propriété de l'image du marqueur dépend du contraste de manière connue. Pendant l'exposition par balayage, le substrat est déplacé dans une direction de balayage et au moins l'un parmi : une différence entre un angle de rotation du substrat et un angle de rotation d'un plan de la meilleure focalisation, autour d'un premier axe perpendiculaire à la direction de balayage, une différence entre un angle de rotation du substrat et un angle de rotation du plan de la meilleure focalisation autour d'un second axe perpendiculaire au premier axe et perpendiculaire à la direction de balayage, et une vitesse du substrat dans la direction de balayage par rapport au plan de la meilleure focalisation, est sélectionnée de sorte à être différente pour les expositions de balayage d'au moins deux de la pluralité de régions cibles. Ensuite, la propriété de l'image de chacun de la pluralité de marqueurs est déterminée.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)