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1. (WO2018076902) CRYSTAL BAR PRODUCTION METHOD
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Pub. No.:    WO/2018/076902    International Application No.:    PCT/CN2017/097849
Publication Date: 03.05.2018 International Filing Date: 17.08.2017
IPC:
C30B 33/02 (2006.01), C30B 29/20 (2006.01), C30B 29/36 (2006.01)
Applicants: FUJIAN JING' AN OPTOELECTRONICS CO., LTD [CN/CN]; LIN, Liping Hutou Town Photoelectric Industrial Park, Anxi County Quanzhou, Fujian 362411 (CN)
Inventors: HSIEH, Pin-Hui; (CN).
HU, Zhongwei; (CN).
LIN, Wu-Ching; (CN).
LAI, Po-Fan; (CN).
LIAO, Guifen; (CN)
Priority Data:
201610928820.6 31.10.2016 CN
Title (EN) CRYSTAL BAR PRODUCTION METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION D’UNE BARRE DE CRISTAL
(ZH) 晶棒的制作方法
Abstract: front page image
(EN)Provided is a crystal bar production method comprising putting a crystal bar that has gone through a bar-taking process into a high-temperature annealing furnace for annealing before wire cutting, the annealing process mainly including: a temperature increasing process, a thermostatic process, and a temperature lowering process. By unified annealing crystal bars produced under different techniques of crystal growing and bar-taking to eliminate residual stress within the crystal bar to improve consistency of the sapphire crystal bar material to improve good yield and uniformity in the latter process of wafer processing and extension.
(FR)La présente invention concerne un procédé de production d’une barre de cristal comprenant la mise en place d’une barre de cristal qui a subit un procédé de préhension d’une barre dans un four de recuit à haute température pour le recuit avant la découpe au fil, le procédé de recuit comprenant principalement : un procédé d’augmentation de la température, un procédé thermostatique, et un procédé de réduction de la température. La présente invention concerne l’unification de barres de cristaux de recuit produites sous différentes techniques de croissance de cristaux et de préhension de barre afin d’éliminer la contrainte résiduelle à l’intérieur de la barre de cristal pour améliorer la consistance du matériau de barre de cristal de saphir afin d’améliorer le rendement et l’uniformité dans ce dernier procédé de traitement et d’extension de tranche.
(ZH)一种晶棒的制作方法,在线切割前将已完成掏棒工艺的晶棒放入高温退火炉中进行退火,其退火工艺过程主要包括:升温过程、恒温过程、降温过程,通过对不同长晶和掏棒工艺下生产的晶棒进行统一退火处理,消除晶棒内部残余应力,提高蓝宝石晶棒材质的一致性,提高后段晶圆加工、外延的良率和均匀性。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
African Regional Intellectual Property Organization (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Organization (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Publication Language: Chinese (ZH)
Filing Language: Chinese (ZH)