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1. (WO2018067609) SPECTROSCOPY WITH TAILORED SPECTRAL SAMPLING
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Pub. No.: WO/2018/067609 International Application No.: PCT/US2017/054993
Publication Date: 12.04.2018 International Filing Date: 03.10.2017
IPC:
G01N 21/25 (2006.01) ,G02B 3/00 (2006.01) ,G02B 5/08 (2006.01) ,G02B 5/04 (2006.01)
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION[US/US]; Legal Dept. One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventors: DE VEER, Johannes D.; US
NEIL, Mark; US
Agent: MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M.N.; US
Priority Data:
15/644,57107.07.2017US
62/403,70804.10.2016US
62/444,65510.01.2017US
Title (EN) SPECTROSCOPY WITH TAILORED SPECTRAL SAMPLING
(FR) SPECTROSCOPIE AVEC ÉCHANTILLONNAGE SPECTRAL SUR MESURE
Abstract: front page image
(EN) A spectrometer for tailored spectral sampling includes a dispersive element for spatially dispersing a spectrum of a light beam, a detector including a plurality of pixels distributed along a sampling direction, and a spectrum reshaping element including at least one of a reflective surface or a transmissive surface for reshaping the spatially-dispersed spectrum of the light beam from the dispersive element along the sampling direction to provide a selected distribution of the spectrum to the detector. The detector may spatially sample the spectrum of incident light with the plurality of pixels at selected spectral intervals based on the selected distribution of the spectrum.
(FR) L'invention concerne un spectromètre pour échantillonnage spectral sur mesure, qui comprend un élément dispersif pour disperser spatialement le spectre d'un faisceau lumineux, un détecteur comprenant une pluralité de pixels distribués le long d'une direction d'échantillonnage, et un élément de reconformation du spectre comprenant au moins une surface réfléchissante ou une surface transmissive pour reconformer le spectre dispersé spatialement du faisceau lumineux provenant de l'élément dispersif le long de la direction d'échantillonnage, afin de fournir au détecteur une distribution sélectionnée du spectre. Le détecteur peut échantillonner spatialement le spectre de lumière incidente à l'aide de la pluralité de pixels à des intervalles spectraux sélectionnés sur la base de la distribution sélectionnée du spectre.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)