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1. (WO2018067500) FABRICATING NON-UNIFORM DIFFRACTION GRATINGS
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Pub. No.: WO/2018/067500 International Application No.: PCT/US2017/054844
Publication Date: 12.04.2018 International Filing Date: 03.10.2017
IPC:
G02B 5/18 (2006.01) ,G02B 6/34 (2006.01) ,G02B 26/08 (2006.01) ,G02B 27/01 (2006.01) ,G02B 27/22 (2006.01)
Applicants: MAGIC LEAP, INC.[US/US]; 7500 W. Sunrise Blvd. Plantation, Florida 33322, US
Inventors: MELLI, Mauro; US
PEROZ, PHD, Christophe; US
Agent: GOU, Yunbo; US
Priority Data:
62/404,55505.10.2016US
Title (EN) FABRICATING NON-UNIFORM DIFFRACTION GRATINGS
(FR) FABRICATION DE RÉSEAUX DE DIFFRACTION NON UNIFORMES
Abstract: front page image
(EN) A method of fabricating non-uniform gratings includes implanting different densities of ions into corresponding areas of a substrate, patterning, e.g., by lithography, a resist layer on the substrate, etching the substrate with the patterned resist layer, and then removing the resist layer from the substrate, leaving the substrate with at least one grating having non-uniform characteristics associated with the different densities of ions implanted in the areas. The method can further include using the substrate having the grating as a mold to fabricate a corresponding grating having corresponding non-uniform characteristics, e.g., by nanoimprint lithography.
(FR) Un procédé de fabrication de réseaux non uniformes consiste à implanter différentes densités d'ions dans des zones correspondantes d'un substrat, la formation de motifs, par exemple par lithographie, d'une couche de réserve sur le substrat, la gravure du substrat avec la couche de réserve à motifs, puis à retirer la couche de réserve du substrat, laissant le substrat avec au moins un réseau ayant des caractéristiques non uniformes associées aux différentes densités d'ions implantés dans les zones. Le procédé peut en outre comprendre l'utilisation du substrat ayant le réseau en tant que moule pour fabriquer un réseau correspondant ayant des caractéristiques non uniformes correspondantes, par exemple, par lithographie par nano-impression.
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: English (EN)
Filing Language: English (EN)