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1. (WO2018066471) VACUUM PUMP, HELICAL PLATE FOR VACUUM PUMP, SPACER, AND ROTATING CYLINDRICAL BODY
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Pub. No.: WO/2018/066471 International Application No.: PCT/JP2017/035471
Publication Date: 12.04.2018 International Filing Date: 29.09.2017
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
Applicants: EDWARDS JAPAN LIMITED[JP/JP]; 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523, JP
Inventors: KABASAWA Takashi; JP
Priority Data:
2016-19810206.10.2016JP
Title (EN) VACUUM PUMP, HELICAL PLATE FOR VACUUM PUMP, SPACER, AND ROTATING CYLINDRICAL BODY
(FR) POMPE À VIDE, PLAQUE HÉLICOÏDALE POUR POMPE À VIDE, ÉLÉMENT D'ESPACEMENT ET CORPS CYLINDRIQUE ROTATIF
(JA) 真空ポンプ、ならびに真空ポンプに備わるらせん状板、スペーサおよび回転円筒体
Abstract: front page image
(EN) [Problem] To provide a vacuum pump having low power consumption while maintaining high exhaust performance. [Solution] In a vacuum pump according to an embodiment of the present invention the outer diameter of a helical plate arranged on the downstream side is smaller than that of a helical plate arranged on the upstream side. In other words, a step section is provided, wherein the blade length of the helical plate arranged on the downstream side is shorter than the blade length of the helical plate arranged on the upstream side. Furthermore, a relief formation part is provided in spacers arranged in the step section, and in the step section the inner diameters at a contact surface where contact is made between an upstream-side spacer (that is, a spacer opposing the helical plate not having a smaller outer diameter) and a downstream-side spacer (that is, a spacer opposing the helical plate having a smaller outer diameter) are made to coincide. By means of this configuration it is possible to provide a vacuum pump having low power consumption while maintaining high exhaust performance.
(FR) Le problème décrit par la présente invention est de réaliser une pompe à vide à faible consommation d'énergie tout en maintenant une performance d'échappement élevée. [Solution] Dans une pompe à vide, selon un mode de réalisation de la présente invention, le diamètre externe d'une plaque hélicoïdale disposée sur le côté aval est plus petit que celui d'une plaque hélicoïdale disposée sur le côté amont. En d'autres termes, une section étagée est prévue, la longueur de pale de la plaque hélicoïdale disposée sur le côté aval étant plus courte que la longueur de pale de la plaque hélicoïdale disposée sur le côté amont. En outre, une partie de formation de relief est disposée dans des éléments d'espacement agencés dans la section étagée, et dans la section étagée les diamètres internes au niveau d'une surface de contact où un contact est réalisé entre un élément d'espacement côté amont (c'est-à-dire, un élément d'espacement opposé à la plaque hélicoïdale n'ayant pas un diamètre externe plus petit) et un élément d'espacement côté aval (c'est-à-dire, un élément d'espacement opposé à la plaque hélicoïdale ayant un diamètre externe plus petit) sont amenés à coïncider. Par cette configuration, il est possible de réaliser une pompe à vide à faible consommation d'énergie tout en maintenant une performance d'échappement élevée.
(JA) 【課題】排気能力は高く保ちつつ、かつ、消費電力は小さい真空ポンプを実現する。 【解決手段】本発明の実施形態に係る真空ポンプでは、配設するらせん状板の外径を、上流側よりも下流側を小さくする。つまり、下流側に配設するらせん状板のブレード長を上流側に配設するらせん状板のブレード長よりも短くした段差部を設ける。さらに、段差部に配設されるスペーサにニゲ形成部を設け、段差部における上流側のスペーサ(すなわち、外径を小さくしていないらせん状板と対向するスペーサ)と下流側のスペーサ(すなわち、外径を小さくしたらせん状板と対向するスペーサ)が接触する接触面の内径を一致させる。この構成により、排気能力は高く保ちつつ、かつ、消費電力が少ない真空ポンプを実現することができる。
Designated States: AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
African Regional Intellectual Property Organization (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Eurasian Patent Office (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
European Patent Office (EPO) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
African Intellectual Property Organization (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Publication Language: Japanese (JA)
Filing Language: Japanese (JA)